GB/T 46173-2025 电子气体 惰性稀有气体

　　ICS 71. 100.20 CCS G 86

　　中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准

　　GB/T 46173—2025

　　电子气体 惰性稀有气体

　　Electronicgas—Noblegas

　　2025-10-05发布 2026-05-01实施

　　国家市场监督管理总局国家标准化管理委员会

　　

　　发

　　

　　布

　　GB/T 46173—2025

　　目 次

　　前言 Ⅲ

　　1 范围 1

　　2 规范性引用文件 1

　　3 术语和定义 1

　　4 技术要求 2

　　5 采样 3

　　6 试验方法 3

　　6. 1 惰性稀有气体纯度 4

　　6. 2 氪中氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氙 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化硫含量

　　的测定 5

　　6. 3 氪中非甲烷总烃含量的测定 6

　　6. 4 氖中氦含量的测定 7

　　6. 5 氖中氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷含量的测定 7

　　6. 6 氖中总烃含量的测定 8

　　6. 7 氙中氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氪 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化硫含量

　　的测定 8

　　6. 8 氙中非甲烷总烃含量的测定 9

　　6. 9 氙中一氧化氮 、二氧化氮及氧化亚氮含量的测定 9

　　6. 10 水分含量的测定 11

　　6. 11 尾气处理 11

　　7 检验规则 11

　　8 标志 、包装 、运输 、贮存及安全信息 11

　　8. 1 标志 11

　　8. 2 包装 、运输及贮存 11

　　8. 3 安全信息 11

　　附录 A (资料性) 气路流程示意图 12

　　A. 1 测定氪中氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氙 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化

　　硫含量的气路流程示意图 12

　　A. 2 测定氖中氦含量的气路流程示意图 13

　　A. 3 测定氖中氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷含量的气路流程示意图 13

　　A. 4 测定氙中氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氪 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化

　　硫含量的气路流程示意图 14

　　A. 5 测定氙中非甲烷总烃含量的气路流程示意图 15

　　Ⅰ

　　GB/T 46173—2025

　　附录 B (资料性) 安全信息 17

　　B. 1 基本信息 17

　　B. 2 危险性说明 17

　　B. 3 操作注意事项 17

　　B. 4 紧急情况应对措施 17

　　B. 5 泄漏处理处置 18

　　B. 6 存储注意事项 18

　　B. 7 废弃处置说明 18

　　参考文献 19

　　Ⅱ

　　GB/T 46173—2025

　　前 言

　　本文件按照 GB/T 1. 1—2020《标准化工作导则 第 1部分 :标准化文件的结构和起草规则》的规定起草 。

　　请注意本文件的某些内容可能涉及专利 。本文件的发布机构不承担识别专利的责任 。

　　本文件由全国半导体设备和材料标准化技术委员会(SAC/TC203)提出并归 口 。

　　本文件起草单位 :昊华气体有限公司西南分公司 、衢州杭氧特种气体有限公司 、华测检测认证集团股份有限公司 、河南心连心深冷能源股份有限公司 、福建德天宸新材料科技有限公司 、湖北和远气体股份有限公司 、北京控制工程研究所 、河北邯钢特种气体有限公司 、大连华邦化学有限公司 、广东华特气体股份有限公司 、中石化(北京)化工研究院有限公司 、重庆瑞信气体有限公司 、北京普瑞分析仪器有限公司 、深圳捷工科技股份有限公司 、三峡公共检验检测中心 、中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司 、福建恒申电子材料科技有限公司 、北京首钢气体有限公司 、中国计量科学研究院 、布鲁克(北京) 科技有限公司 、中海油能源发展股份有限公司安全环保分公司 、中昊光明化工研究设计院有限公司 、浙江泓芯半导体有限公司 、浙江省化工研究院有限公司 、上海华爱色谱分析技术有限公司 、大连大特气体有限公司 、杭州新世纪混合气体有限公司 、中国计量大学 、中国计量测试学会 、联雄投资(上海)有限公司 、昆明广瑞达特种气体有限责任公司 、超谱科技(成都)有限公司 、上海凡伟仪器设备有限公司 、沈阳中复科金压力容器有限公司 、液化空气(中国)投资有限公司 、爱尔兰 AGC仪器有限公司北京代表处 、宿州伊维特新材料有限公司 、贵州省产品质量检验检测院 、朗析仪器(上海)有限公司 、西南化工研究设计院有限公司 。

　　本文件主要起草人 :胡迎 、汪晗 、陈桂淋 、郭英阁 、崔增涛 、戚芮甲 、曹素英 、潘振环 、江罗 、方强 、宋飞 、樊超 、马卫东 、陈利斌 、侯鹏 、钱吉 、傅铸红 、陈艳珊 、吴长江 、侯秀华 、魏昕 、江月军 、金星屹 、史兰 、刘军航 、王露 、谢磊 、滕鑫胜 、郑阳光 、马彬淇 、廖鸿昌 、赵光明 、李晓 、尹冬梅 、王漫 、赵跃 、蔡长青 、孙福楠 、王飞华 、兰锋 、吴宁捷 、张 琦 炎 、方 华 、郑 新 蕊 、程 欣 、张 金 波 、张 静 、杨 扬 仲 夫 、黄 辉 、高 静 、曲 强 、何 波 、黄 小 强 、房嵩 、殷昊 、李明 、宫兵 、任希辉 、谈益强 、尹乐乐 、李建浩 、程化鹏 、周鹏云 、唐霞梅 。

　　Ⅲ

　　GB/T 46173—2025

　　电子气体 惰性稀有气体

　　1 范围

　　本文件规定了惰性稀有气体的技术要求 ,描述了相应的试验方法 ,还规定了采样 、检验规则 、标志 、包装 、运输及贮存要求并提供了安全信息 。

　　本文件适用于以工业惰性稀有气体为原料提纯制得的惰性稀有气体 。

　　2 规范性引用文件

　　下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款 。其中 , 注 日期的引用文件 ,仅该日期对应的版本适用于本文件 ;不注日期的引用文件 ,其最新版本(包括所有的修改单) 适用于本文件 。

　　GB 190 危险货物包装标志

　　GB/T 4842 氩

　　GB/T 4844 纯氦 、高纯氦和超纯氦

　　GB/T 5099(所有部分) 钢质无缝气瓶

　　GB/T 5275. 7 气体分析 动态体积法制备校准用混合气体 第 7部分:热式质量流量控制器GB/T 5828 纯氙 、高纯氙和超纯氙

　　GB/T 5829 纯氪 、高纯氪和超纯氪

　　GB/T 5832. 1 气体分析 微量水分的测定 第 1部分 : 电解法

　　GB/T 5832. 2 气体分析 微量水分的测定 第 2部分 :露点法

　　GB/T 5832. 3 气体分析 气体中微量水分的测定 第 3部分 :光腔衰荡光谱法

　　GB/T 7144 气瓶颜色标志

　　GB/T 8979 纯氮 、高纯氮和超纯氮

　　GB/T 8984 气体分析 气体中微量一氧化碳 、二氧化碳和碳氢化合物含量的测定 火焰离子化气相色谱法

　　GB/T 11640 铝合金无缝气瓶

　　GB/T 14193 液化气体气瓶充装规定

　　GB/T 14194 压缩气体气瓶充装规定

　　GB 15258 化学品安全标签编写规定

　　GB/T 16804 气瓶警示标签

　　GB/T 28726 气体分析 氦离子化气相色谱法

　　GB/T 43306 气体分析 采样导则

　　TSG 23 气瓶安全技术规程

　　3 术语和定义

　　下列术语和定义适用于本文件 。

　　1

　　GB/T 46173—2025

　　3. 1

　　惰性稀有气体 noblegas

　　包括氪 、氖 、氙 。

　　4 技术要求

　　惰性稀有气体的技术要求应符合表 1~表 3 的规定 。

　　表 1 氪技术要求

　　项 目

　　指标

　　一级

　　二级

　　氪纯度(Kr)(摩尔分数)

　　≥99. 999 9× 10- 2

　　≥99. 999 5× 10- 2

　　氢(H2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　(氧 +氩)(O2 +Ar)含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　氮(N2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 2× 10- 6

　　<1. 0× 10- 6

　　一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　二氧化碳(CO2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　甲烷(CH4 )含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　非甲烷总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　氙(Xe)含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　四氟化碳(CF4 )含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　六氟乙烷(C2 F6 )含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　六氟化硫(SF6 )含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　水分(H2 O)含量(摩尔分数)

　　<0. 2× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　杂质总含量(摩尔分数)

　　≤1. 0× 10- 6

　　≤5. 0× 10- 6

　　表 2 氖技术要求

　　项 目

　　指标

　　一级

　　二级

　　氖(Ne)纯度(摩尔分数)

　　≥99. 999 9× 10- 2

　　≥99. 999 5× 10- 2

　　氦(He)含量(摩尔分数)

　　<1. 0× 10- 6

　　<2. 0× 10- 6

　　氢(H2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　(氧 +氩)(O2 +Ar)含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　氮(N2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 2× 10- 6

　　<1. 0× 10- 6

　　一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　二氧化碳(CO2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　甲烷(CH4 )含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　2

　　GB/T 46173—2025

　　表 2 氖技术要求 (续)

　　项 目

　　指标

　　一级

　　二级

　　总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 2× 10- 6

　　水分(H2 O)含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　杂质总含量(摩尔分数)

　　≤1. 0× 10- 6

　　≤5. 0× 10- 6

　　表 3 氙技术要求

　　项 目

　　指标

　　一级

　　二级

　　氙纯度(Xe)(摩尔分数)

　　≥99. 999 9× 10- 2

　　≥99. 999 5× 10- 2

　　氢(H2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　(氧 +氩)(O2 +Ar)含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　氮(N2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 2× 10- 6

　　<1. 0× 10- 6

　　一氧化碳(CO)含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　二氧化碳(CO2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　甲烷(CH4 )含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 1× 10- 6

　　非甲烷总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　氪(Kr)含量(摩尔分数)

　　<0. 1× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　一氧化氮(NO)含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　二氧化氮(NO2 )含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　氧化亚氮(N2 O)含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　四氟化碳(CF4 )含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　六氟乙烷(C2 F6 )含量(摩尔分数)

　　<0. 05× 10- 6

　　<0. 2× 10- 6

　　六氟化硫(SF6 )含量(摩尔分数)

　　<0. 02× 10- 6

　　<0. 05× 10- 6

　　水分(H2 O)含量(摩尔分数)

　　<0. 2× 10- 6

　　<0. 5× 10- 6

　　杂质总含量(摩尔分数)

　　≤1. 0× 10- 6

　　≤5. 0× 10- 6

　　5 采样

　　惰性稀有气体的采样应符合 GB/T 43306的规定 。

　　6 试验方法

　　警示— 本文件规定的一些试验过程可能导致危险情况 ,使用者有责任采取适当的安全和健康防护措施。

　　3

　　GB/T 46173—2025

　　6. 1 惰性稀有气体纯度

　　6. 1. 1 氪纯度

　　6. 1. 1. 1 氪的杂质总含量

　　氪的杂质总含量按公式(1)计算 :

　　x13 =x1 + x2 + x3 + x4 + x5 + x6 + x7 + x8 + x9 + x10 + x11 + x12 …………( 1 )

　　式中 :

　　x1 — 氪中氢含量(摩尔分数) ;

　　x2 — 氪中(氧 +氩)含量(摩尔分数) ;

　　x3 — 氪中氮含量(摩尔分数) ;

　　x4 — 氪中一氧化碳含量(摩尔分数) ;

　　x5 — 氪中二氧化碳含量(摩尔分数) ;

　　x6 — 氪中甲烷含量(摩尔分数) ;

　　x7 — 氪中非甲烷总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数) ;

　　x8 — 氪中氙含量(摩尔分数) ;

　　x9 — 氪中四氟化碳含量(摩尔分数) ;

　　x10 — 氪中六氟乙烷含量(摩尔分数) ;

　　x11 — 氪中六氟化硫含量(摩尔分数) ;

　　x12 — 氪中水分含量(摩尔分数) ;

　　x13 — 氪的杂质总含量(摩尔分数) 。

　　6. 1. 1.2 氪纯度

　　氪纯度按公式(2)计算 :

　　x14 = (100- x13 × 102 ) × 10-2 …………………………( 2 )

　　式中 :

　　x14— 氪纯度(摩尔分数) 。

　　6. 1.2 氖纯度

　　6. 1.2. 1 氖的杂质总含量

　　氖的杂质总含量按公式(3)计算 :

　　x23 =x15 + x16 + x17 + x18 + x19 + x20 + x21 + x22 ………………( 3 )

　　式中 :

　　x15— 氖中氦含量(摩尔分数) ;

　　x16— 氖中氢含量(摩尔分数) ;

　　x17— 氖中(氧 +氩)含量(摩尔分数) ;

　　x18— 氖中氮含量(摩尔分数) ;

　　x19— 氖中一氧化碳含量(摩尔分数) ;

　　x20— 氖中二氧化碳含量(摩尔分数) ;

　　x21— 氖中总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数) ;

　　x22— 氖中水分含量(摩尔分数) ;

　　x23— 氖的杂质总含量(摩尔分数) 。

　　4

　　GB/T 46173—2025

　　6. 1.2.2 氖纯度

　　氖纯度按公式(4)计算 :

　　x24 = (100- x23 × 102 ) × 10-2 …………………………( 4 )

　　式中 :

　　x24— 氖纯度(摩尔分数) 。

　　6. 1.3 氙纯度

　　6. 1.3. 1 氙杂质总含量

　　氙的杂质总含量按公式(5)计算 :

　　x40 =x25 + x26 + x27 + x28 + x29 + x30 + x31 + x32 + x33 + x34 + x35 + x36 + x37 + x38 + x39

　　……( 5 )

　　式中 :

　　x25— 氙中氢含量(摩尔分数) ;

　　x26— 氙中(氧 +氩)含量(摩尔分数) ;

　　x27— 氙中氮含量(摩尔分数) ;

　　x28— 氙中一氧化碳含量(摩尔分数) ;

　　x29— 氙中二氧化碳含量(摩尔分数) ;

　　x30— 氙中甲烷含量(摩尔分数) ;

　　x31— 氙中非甲烷总烃(以甲烷计)含量(摩尔分数) ;

　　x32— 氙中氪含量(摩尔分数) ;

　　x33— 氙中一氧化氮含量(摩尔分数) ;

　　x34— 氙中二氧化氮含量(摩尔分数) ;

　　x35— 氙中氧化亚氮含量(摩尔分数) ;

　　x36— 氙中四氟化碳含量(摩尔分数) ;

　　x37— 氙中六氟乙烷含量(摩尔分数) ;

　　x38— 氙中六氟化硫含量(摩尔分数) ;

　　x39— 氙中水分含量(摩尔分数) ;

　　x40— 氙的杂质总含量(摩尔分数) 。

　　6. 1.3.2 氙纯度

　　氙纯度按公式(6)计算 :

　　x41 = (100- x40 × 102 ) × 10-2 …………………………( 6 )

　　式中 :

　　x41— 氙纯度(摩尔分数) 。

　　6.2 氪中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的测定

　　6.2. 1 测定方法

　　按 GB/T 28726规定的方法定氪中的氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氙 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化硫含量 。可采用其他等效的方法测定 。 当对测定结果有异议时 , 以 GB/T 28726规定的方法为仲裁方法 。

　　5

　　GB/T 46173—2025

　　6.2.2 预分离柱

　　长约 4 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~ 0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。

　　6.2.3 色谱柱

　　6.2.3. 1 色谱柱 1:柱长约 2 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~0. 25 mm 的 5A分子筛 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氪中的氢 、(氧 +氩) 、氮 、一氧化碳的含量 。

　　6.2.3.2 色谱柱 2:柱长约 2 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~0. 25 mm 的 5A分子筛 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氪中甲烷含量 。

　　6.2.3.3 色谱柱 3:柱长约 0. 6 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~0. 25 mm 的改性碳分子筛 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氪中的二氧化碳 、氙的含量 。

　　6.2.3.4 色谱柱 4:柱长约 0. 6 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~0. 25 mm 的改性碳分子筛 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氪中的四氟化碳的含量 。

　　6.2.3.5 色谱柱 5:柱长约 4 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氪中的六氟乙烷 、六氟化硫的含量 。

　　6.2.4 气体标准样品

　　气体标准样品中组分含量为 1×10-6 (摩尔分数) ~ 5×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氦 ,应符合GB/T 4844的规定 。平衡气也可采用高纯氪 。

　　6.2.5 气路流程

　　参考的气路流程示意图见附录 A。

　　6.3 氪中非甲烷总烃含量的测定

　　6.3. 1 测定方法

　　按 GB/T 8984规定的方法测定氪中非甲烷总烃含量 。 可采用其他等效的方法测定 。 当对测定结果有异议时 , 以 GB/T 8984规定的方法为仲裁方法 。

　　6.3.2 预分离柱

　　长约 3 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~ 0. 18 mm 高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。

　　6.3.3 色谱柱

　　长约 4 m、内径约 2 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~ 0. 25 mm 的玻璃微球 ,或其他等效色谱柱 。

　　6.3.4 标准样品

　　标准样品中甲烷含量宜为 1×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氮 ,应符合 GB/T 8979的规定 。

　　6

　　GB/T 46173—2025

　　6.4 氖中氦含量的测定

　　6.4. 1 测定方法

　　采用热导气相色谱法测定氖中的氦含量 。

　　6.4.2 仪器

　　热导气相色谱仪 ,氖中氦的含量检测限不大于 0. 2×10-6 (摩尔分数) 。

　　6.4.3 试剂和材料

　　6.4.3. 1 载气 :高纯氩 ,应符合 GB/T 4842的规定 。

　　6.4.3.2 预分离柱 :长约 6 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~ 0. 25 mm 的改性碳分子筛 ,或其他等效色谱柱 。

　　6.4.3.3 色谱柱 :长约 8 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~ 0. 25 mm 的改性碳分子筛 ,或其他等效色谱柱 。

　　6.4.4 测定条件

　　色谱柱温度 :≤20 ℃ 。

　　6.4.5 气体标准样品

　　氦含量约为 5×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氩 。

　　6.4.6 气路流程

　　参考的气路流程示意图见附录 A。

　　6.4.7 测定

　　仪器稳定后按仪器说明书进行测定操作 。平行测定气体标准样品和样品气至少两次 ,直至相邻两次测定结果之差不大于测定结果平均值的 20% ,取其平均值 。

　　6.4. 8 结果处理

　　氖中氦含量按公式(7)计算 :

　　x xs …………………………( 7 )

　　式中 :

　　Ai — 样品气中氦的响应值 ;

　　As — 气体标准样品中氦的响应值 ;

　　xs — 气体标准样品中氦含量(摩尔分数) 。

　　6.5 氖中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的测定

　　6.5. 1 测定方法

　　按 GB/T 28726规定的方法定氖中的氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷含量 。 可采用其他等效的方法测定 。 当对测定结果有异议时 , 以 GB/T 28726规定的方法为仲裁方法 。

　　7

　　GB/T 46173—2025

　　6.5.2 色谱柱

　　6.5.2. 1 色谱柱 1:长约 3 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~ 0. 25 mm 的 5A 分子筛 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氖中的氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、甲烷的含量 。

　　6.5.2.2 色谱柱 2:柱长约 8 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氖中的二氧化碳含量 。

　　6.5.3 气体标准样品

　　气体标准样品中组分含量为 1×10-6 (摩尔分数) ~ 5×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氦 ,应符合GB/T 4844的规定 。

　　6.5.4 气路流程

　　参考的气路流程示意图见附录 A。

　　6.6 氖中总烃含量的测定

　　6.6. 1 测定方法

　　按 GB/T 8984规定的方法测定氖中总烃含量 。 可采用其他等效的方法测定 。 当对测定结果有异议时 , 以 GB/T 8984规定的方法为仲裁方法 。

　　6.6.2 预分离柱

　　长约 3 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~ 0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。

　　6.6.3 色谱柱

　　长约 4 m , 内径约 2 mm 的 316L不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~0. 25 mm 的玻璃微球 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氖中的总烃含量 。

　　6.6.4 标准样品

　　标准样品中甲烷含量宜为 1×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氮 ,应符合 GB/T 8979的规定 。

　　6.7 氙中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的测定

　　6.7. 1 测定方法

　　按 GB/T 28726规定的方法定氙中的氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氪 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化硫含量 。可采用其他等效的方法测定 。 当对测定结果有异议时 , 以 GB/T 28726规定的方法为仲裁方法 。

　　6.7.2 预分离柱

　　6.7.2. 1 预分离柱 1:长约 2 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~ 0. 25 mm 的 5A 分子筛 。

　　6.7.2.2 预分离柱 2:长约 0. 6 m、内径约 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~0. 25 mm 的改性碳分子筛 。

　　8

　　GB/T 46173—2025

　　6.7.3 色谱柱

　　6.7.3. 1 色谱柱 1:长约 4 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定六氟乙烷 、六氟化硫的含量 。

　　6. 7.3.2 色谱柱 2:长约 2 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 18 mm~0. 25 mm 的 5A分子筛 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定氢 、氧 +氩 、氮 、甲烷 、一氧化碳 、氪的含量 。

　　6.7.3.3 色谱柱 3:长约 4 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) 。该柱用于测定二氧化碳 、四氟化碳的含量 。

　　6.7.4 气体标准样品

　　气体标准样品中组分含量为 1×10-6 (摩尔分数) ~ 5×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氦 ,应符合GB/T 4844的规定 。

　　6.7.5 气路流程

　　参考的气路流程示意图见附录 A。

　　6. 8 氙中非甲烷总烃含量的测定

　　6. 8. 1 测定方法

　　按 GB/T 8984规定的方法测定氙中非甲烷总烃含量 。 可采用其他等效的方法测定 。 当对测定结果有异议时 , 以 GB/T 8984规定的方法为仲裁方法 。

　　6. 8.2 预分离柱

　　长约 3 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~ 0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。

　　6. 8.3 色谱柱

　　6. 8.3. 1 色谱柱 1: 长约 4 m , 内 径 约 2 mm 的 不 锈 钢 柱 , 内 装 粒 径 为 0. 18 mm~ 0. 25 mm 的 玻 璃 微球 ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定总烃中 C3+组分的含量 。

　　6. 8.3.2 色谱柱 2:长约 3 m、内径 3 mm 的不锈钢柱 , 内装粒径为 0. 15 mm~0. 18 mm 的高分子聚合物(乙基苯乙烯和二乙烯基苯的共聚物) ,或其他等效色谱柱 。该柱用于测定碳总烃中 C2组分的含量 。

　　6. 8.4 标准样品

　　标准样品中甲烷含量宜为 1×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氮 ,应符合 GB/T 8979的规定 。

　　6. 8.5 气路流程

　　参考的气路流程示意图见附录 A。

　　6.9 氙中一氧化氮、二氧化氮及氧化亚氮含量的测定

　　6.9. 1 傅立叶变换红外光谱法

　　6.9. 1. 1 仪器

　　采用配备相应气体池的傅立叶红外光谱仪测定氙中的一氧化氮 、二氧化氮及氧化亚氮含量 。

　　9

　　GB/T 46173—2025

　　检测限 :0. 01×10-6 (摩尔分数) 。

　　6.9. 1.2 测定条件

　　参考的测定条件如下 。

　　— 一氧化氮特征峰波数 :1 800 cm- 1 ~ 1 960 cm- 1 。

　　— 二氧化氮特征峰波数 :1 560 cm- 1 ~ 1 660 cm- 1 。

　　— 氧化亚氮特征峰波数 :2 160 cm- 1 ~ 2 260 cm- 1 。

　　— 分辨率 :0. 5 cm- 1 ~ 1 cm- 1 。

　　— 环境温度 :18 ℃ ~ 25 ℃ 。

　　— 环境相对湿度 :≤60% 。

　　— 其他测定条件按照仪器说明书执行 。

　　6.9. 1.3 试剂和材料

　　6.9. 1.3. 1 气体池 :池体材质宜为石英或者不锈钢 。

　　6.9. 1.3.2 窗片 :材质宜为 BaF2 或 KBr。

　　6.9. 1.3.3 高纯氮及超纯氮 :符合 GB/T 8979的规定 。

　　6.9. 1.4 标准样品

　　一氧化氮 、二氧化氮及氧化亚氮含量分别约为 1×10-6 (摩尔分数)平衡气为高纯氮 。

　　6.9. 1.5 测定步骤

　　6.9. 1.5. 1 启动仪器

　　按傅立叶红外光谱仪说明书开启仪器 ,调整仪器各部件达到测定条件 ,待仪器稳定后即可测定 。

　　6.9. 1.5.2 吹扫

　　测定前 ,宜用超纯氮吹扫光腔和气路系统 ,宜吹扫至水分含量低于 0. 5×10-6 (摩尔分数) 。

　　6.9. 1.5.3 标准曲线的建立

　　按照 GB/T 5275. 7规定的方法将标准样品稀释 ,稀释后至少应有 4 种不同组分含量的气体标准样品 ,一氧化氮 、二氧化氮或 氧 化 亚 氮 的 含 量 分 别 约 为 0. 1× 10- 6 (摩 尔 分 数) 、0. 3× 10- 6 (摩 尔 分 数) 、 0. 5× 10- 6 (摩尔分数) 、1. 0×10-6 (摩尔分数) ,平衡气为高纯氮 。

　　将稀释后的各标准样品通入仪器 。分别记录标准样品中一氧化氮 、二氧化氮或氧化亚氮在特征峰波数处的吸收响应值 。每种标准样品至少重复进样两次 ,直至两次响应值的相对偏差不大于 10% ,取其平均值 ,制作以吸光度信号的响应值为纵坐标 , 以含量为横坐标的工作曲线 。

　　6.9. 1.5.4 样品的测定

　　以建立标准曲线同样的测定条件测定样品 。取两次平行测定结果的算术平均值为测定结果 。两次平行测定结果的相对偏差不应大于 10% 。

　　6.9.2 其他等效方法

　　可采用其他等效的方 法 测 定 氙 中 的 一 氧 化 氮 、二 氧 化 氮 及 氧 化 亚 氮 含 量 。 当 对 测 定 结 果 有 异 议时 , 以 6. 9. 1规定的方法为仲裁方法 。

　　10

　　GB/T 46173—2025

　　6. 10 水分含量的测定

　　按 GB/T 5832. 1、GB/T 5832. 2、GB/T 5832. 3 规定的方法或其他等效的方法测定 。 当对测定结果有异议时 , 以 GB/T 5832. 3规定的方法为仲裁方法 。

　　6. 11 尾气处理

　　测定时 ,应防止惰性稀有气体在室内的聚集 。

　　7 检验规则

　　应逐一检验并验收惰性稀有气体产品 。 当检验结果均符合该产品相应级别的技术要求时 ,则判该级别产品合格 。 当检验结果有任何一项指标不符合该产品相应级别的技术要求时 ,则判该级别产品不合格 。

　　8 标志、包装、运输、贮存及安全信息

　　8. 1 标志

　　8. 1. 1 惰性稀有气体出厂时应有产品质量合格证 ,其内容至少应包括 :

　　— 产品名称 ,生产厂名称 ,危险化学品安全生产许可证编号 ;

　　— 生产日期或批号 , 以及保质期 ;

　　— 充装压力(MPa)或充装质量(kg) ;

　　— 本文件编号及惰性稀有气体的纯度 。

　　8. 1.2 包装容器上应涂刷 “电子气体 氪 ”或 “电子气体 氖 ”或 “电子气体 氙 ”字样 。

　　8. 1.3 惰性稀有气体的包装标志应符合 GB190的规定 ,颜色标志应符合 GB/T 7144的规定 ,标签应符合 GB 15258、GB/T 16804的规定 。

　　8.2 包装、运输及贮存

　　8.2. 1 采用钢质气瓶时 ,应符合 GB/T5099(所有部分)的规定 。采用铝合金气瓶时 ,应符合 GB/T 11640的规定 。

　　8.2.2 氪 、氖的充装应符合 GB/T 14194的规定 。 氙的充装应符合 GB/T 14193 的规定 。惰性稀有气体的充装及贮运还应符合 TSG 23的规定 ,充装及贮运的安全管理条例见《危险化学品安全管理条例》 《特种设备安全监察条例》。

　　8.2.3 氪气的质量与体积的换算方法应符合 GB/T 5829的规定 ,氙气的质量与体积的换算方法应符合GB/T 5828的规定

　　8.2.4 宜使用进行内表面处理的气瓶 ,处理后的气瓶应满足本文件的要求 。

　　8.2.5 应防止泄漏和瓶口被污染 。

　　8.2.6 惰性稀有气体产品应存放在阴凉 、干燥 、通风的库房内 ,不应暴晒 ,远离热源 。

　　8.3 安全信息

　　惰性稀有气体的安全信息见附录 B。

　　11

　　GB/T 46173—2025

　　附 录 A

　　(资料性)

　　气路流程示意图

　　A. 1 测定氪中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的气路流程示意图

　　测定氪中的氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氙 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化硫含量时 ,参考的气路流程示意图见图 A. 1。

　　标引序号说明 :

　　1、6、15 — 定量管 ;

　　2、5、10、17、20、23 — 载气 ;

　　3、19 — 气动十通阀 ;

　　4 — 样品进 口 ;

　　7 — 色谱柱 1;

　　8、11、18、22、25、27、28— 针型阀 ;

　　9、24、29 — 气动六通阀 ;

　　12 — 色谱柱 2;

　　13 — 氦离子化检测器 ;

　　14 — 样品出 口 ;

　　16 — 预分离柱 ;

　　21 — 色谱柱 3;

　　26 — 色谱柱 4;

　　30 — 色谱柱 5。

　　图 A. 1 测定氪中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氙、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的气路流程示意图

　　12

　　GB/T 46173—2025

　　A.2 测定氖中氦含量的气路流程示意图

　　测定氖中的氦含量时 ,参考的气路流程示意图见图 A. 2。

　　标引序号说明 :

　　1 — 样品进 口 ;

　　2 — 定量管 ;

　　3 — 样品出 口 ;

　　4 — 预分离柱 ;

　　5 — 针型阀 ;

　　6、8、10— 载气 ;

　　7 — 气动十通阀 ;

　　9 — 色谱柱 ;

　　11 — 热导检测器 。

　　图 A.2 测定氖中氦含量的气路流程示意图

　　A.3 测定氖中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的气路流程示意图

　　测定氖中的氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷含量时 ,参考的气路流程示意图见图 A. 3。

　　13

　　GB/T 46173—2025

　　标引序号说明 :

　　1 — 样品进 口 ;

　　2 — 样品出 口 ;

　　3 — 氦离子化检测器 ;

　　4、8 — 定量管 ;

　　5、7 — 载气(高纯氦气) ;

　　6 — 气动十通阀 ;

　　9、10 — 针型阀 ;

　　11 — 气动六通阀 ;

　　12 — 色谱柱 1;

　　13 — 色谱柱 2。

　　图 A.3 测定氖中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷含量的气路流程示意图

　　A.4 测定氙中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的气路流程示意图

　　测定氙中氢 、氧 +氩 、氮 、一氧化碳 、二氧化碳 、甲烷 、氪 、四氟化碳 、六氟乙烷 、六氟化硫含量时 ,参考的气路流程示意图见图 A. 4。

　　14

　　GB/T 46173—2025

　　标引序号说明 :

　　1 — 样品进 口 ;

　　2、17 — 定量管 ;

　　3 — 预分离柱 1;

　　4、9、10、15、23 — 针型阀 ;

　　5、7、16、19、20、21— 载气 ;

　　6、18 — 气动十通阀 ;

　　8 — 色谱柱 1;

　　11、22 — 气动六通阀 ;

　　12 — 氦离子化检测器 ;

　　13 — 预分离柱 2;

　　14 — 样品出 口 ;

　　24 — 色谱柱 2;

　　25 — 色谱柱 3。

　　图 A.4 测定氙中氢、氧 + 氩、氮、一氧化碳、二氧化碳、

　　甲烷、氪、四氟化碳、六氟乙烷、六氟化硫含量的气路流程示意图

　　A.5 测定氙中非甲烷总烃含量的气路流程示意图

　　测定氙中非甲烷总烃含量时 ,参考的气路流程示意图见图 A. 5。

　　15

　　GB/T 46173—2025

　　标引序号说明 :

　　1 — 样品进 口 ;

　　2、3 — 体积定量管 ;

　　4 — 样品出 口 ;

　　5 — 预分离柱 ;

　　6、9、12、14— 载气 ;

　　7、11 — 针型阀 ;

　　8、13 — 气动十通阀 ;

　　10 — 色谱柱 2;

　　15 — 色谱柱 1;

　　16 — 高纯氢气 ;

　　17 — 高纯空气 ;

　　18 — 氢火焰离子化检测器 。

　　图 A.5 测定氙中非甲烷总烃含量的气路流程示意图

　　16

　　GB/T 46173—2025

　　附 录 B (资料性)安全信息

　　B. 1 基本信息

　　B. 1. 1 氪

　　B. 1. 1. 1 化学式 :Kr; 中文名 :氪 ;英文名 : Krypton。

　　B. 1. 1.2 相对分子质量 :83. 798(按 2018年国际相对原子质量计算) 。

　　B. 1. 1.3 代码 :CAS号 :7439-90-9、UN危险货物编号 :【压缩氪】1056;【冷冻液态氪】1970。

　　B. 1. 1.4 物理性质 :沸点 -153. 35 ℃ ,熔点 -157. 37 ℃ , 临界温度 : -63. 8 ℃ , 临界压力 : 5. 4 MPa;相对

　　密度 :2. 9(干燥空气= 1) ; 自燃温度 :无意义 。

　　B. 1.2 氖

　　B. 1.2. 1 化学式 :Ne; 中文名 :氖 ;英文名 :Neon。

　　B. 1.2.2 相对分子质量 :20. 180(按 2018年国际相对原子质量计算) 。

　　B. 1.2.3 代码 :CAS号 :7440-01-9、UN危险货物编号 :氖【压缩】1065;氖【冷冻液态】1913。

　　B. 1.2.4 物理性质 :沸点 -246 ℃ ,熔点 -248. 7 ℃ , 临界温度 : -229. 0 ℃ , 临界压力 :2. 73 MPa;相对密度 :0. 7(干燥空气= 1) 。

　　B. 1.3 氙

　　B. 1.3. 1 化学式 :Xe; 中文名 :氙 ;英文名 :Xenon。

　　B. 1.3.2 相对分子质量 :131. 29(按 2018年国际相对原子质量计算) 。

　　B. 1.3.3 代码 :CAS号 :7440-63-3; UN危险货物编号 :【压缩氙】2036;【冷冻液态氙】2591。

　　B. 1.3.4 物理性质 :沸点 -108. 1 ℃ , 熔 点 : - 112 ℃ , 临 界 温 度 : 16. 6 ℃ , 临 界 压 力 : 5. 88 MPa;相 对 密度 :4. 46(干燥空气= 1) 。

　　B.2 危险性说明

　　氪及氖是无色的永久性气体 ,氙是无色的高压液化气体 ,遇热可能爆炸 。

　　B.3 操作注意事项

　　B.3. 1 生产过程密闭操作 ,生产装置全面通风 。

　　B.3.2 操作人员经过专门培训 ,严格遵守操作规程 。

　　B.3.3 搬运时轻装轻卸 , 防止钢瓶及附件破损 。

　　B.3.4 远离火种 、热源 ,工作场所不吸烟 。配备自给式正压呼吸器 。

　　B.4 紧急情况应对措施

　　B.4. 1 惰性稀有气体不燃 ,根据着火原因选择适当灭火器灭火 。

　　B.4.2 若遇高热,容器内压增大 ,有开裂和爆炸的危险 。

　　B.4.3 消防人员佩戴防毒面具 ,在上风向灭火 。 喷水冷却容器 ,尽可能将容器从火场移至空旷处 。

　　B.4.4 如果误吸入 ,迅速脱离现场至空气新鲜处 ,保持呼吸道通畅 。如呼吸困难 , 给氧 。 如呼吸停止 、

　　17

　　GB/T 46173—2025

　　心跳停止 ,立即进行心肺复苏术 ,并就医 。

　　B.4.5 皮肤接触 如发生冻伤 ,用温水 38 ℃ ~42 ℃复温 ,不用热水或辐射热,不要揉搓 。就医 。

　　B.5 泄漏处理处置

　　B.5. 1 尽可能切断泄漏源 。

　　B.5.2 根据气体的影响区域划定警戒区 ,无关人员从侧风 、上风向撤离至安全区 。

　　B.5.3 应急处理人员佩戴内置正压自给式呼吸器 ,穿一般作业工作服 。

　　B.6 存储注意事项

　　B.6. 1 贮存于阴凉 、干燥 、通风良好的库房 。远离火种 、热源 。

　　B.6.2 配备泄漏应急处理设备 。

　　B.7 废弃处置说明

　　B.7. 1 根据国家和地方有关法规的要求处置废弃化学品 。或与生产者联系 ,确定处置方法 。

　　B.7.2 将污染的包装物和容器返还生产者或按照国家和地方法规处置 。

　　B.7.3 处置前参阅国家和地方有关法规 。把倒空的容器归还生产者 。

　　18

　　GB/T 46173—2025

　　参 考 文 献

　　[1] 危险化学品安全管理条例(2002年 1 月 26 日 中华人民共和国国务院令第 344号公布 ,2011年2月 16日 国务院第 144次常务会议第一次修订 ,2013年 12月 7 日 国务院令第 645号第二次修订通过)

　　[2] 特种设备安全监察条例(2003年 3 月 11 日 中华人民共和国国务院令第 373号公布 ,2009年1 月 14 日 国务院第 46次常务会议修订通过)

　　19