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GB/T 36653-2018 电子级三甲基铝

  • 英文名称:Electronic grade trimethylaluminium
  • 下载地址:[下载地址2]
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资料介绍

本标准规定了三甲基铝的技术要求、试验方法、检验规则、包装、标志、运输、储存和安全。
本标准适用于烷基交换法、钠还原法三种化学合成法制备并经精制纯化的三甲基铝。该产品主要用于生长化合物半导体薄膜材料等。
分子式:C3H9Al
相对分子质量:72.09(按2013年国际相对原子质量计算)
2950688529
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