GB/T 16944-2009 电子工业用气体氮

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资料介绍

标准编号：GB/T 16944-2009
简体名称：电子工业用气体氮
繁体名称：电子工业用气体氮
英文名称：Gas for electronic industry—Nitrogen

标准简介：
本标准规定了电子工业用气体氮的技术要求,试验方法以及包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于以深冷法从空气中提取的气态和液态氮,以及经电化学方法得到的氮。它们在超大规模集成电路制造中用作保护、吹扫、覆盖、加压,化学气相淀积等。