GB/T 26807-2011 硅压阻式动态压力传感器
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资料介绍
ICS 17. 100 N 11
中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准
GB/T 26807—2011
硅压阻式动态压力传感器
Silicon piezoresistivedynamicpressuresensors
2011-07-29发布 2011-12-01实施
中华人民共和国国家质量监督检验检疫总局中 国 国 家 标 准 化 管 理 委 员 会
发
布
GB/T 26807—2011
目 次
前言 Ⅲ
1 范围 1
2 规范性引用文件 1
3 分类与命名 1
3. 1 分类 1
3. 2 型号命名与图形符号 1
4 基本参数 2
4. 1 测量范围 2
4. 2 被测压力介质及兼容性 2
4. 3 激励 2
4. 4 标称桥阻 2
4. 5 工作介质温度范围 2
4. 6 工作环境温度范围 2
4. 7 补偿温度范围 2
4. 8 贮存温度范围 2
5 要求 2
5. 1 总则 2
5. 2 外观 3
5. 3 外形及安装尺寸 3
5. 4 输入阻抗 3
5. 5 输出阻抗 3
5. 6 负载阻抗 3
5. 7 绝缘电阻 3
5. 8 绝缘强度 3
5. 9 静态性能 3
5. 10 过载 4
5. 11 零点漂移 4
5. 12 热零点漂移 4
5. 13 热满量程输出漂移 4
5. 14 零点长期稳定性(必要时) 4
5. 15 动态性能 4
5. 16 环境影响特性 5
5. 17 疲劳寿命(必要时) 5
6 试验方法 5
6. 1 环境条件 5
6. 2 校准条件 5
6. 3 外观 6
6. 4 外形及安装尺寸 6
Ⅰ
GB/T 26807—2011
6. 5 输入阻抗 6
6. 6 输出阻抗 6
6. 7 负载阻抗 6
6. 8 绝缘电阻 6
6. 9 绝缘强度 6
6. 10 静态性能 6
6. 11 过载 7
6. 12 零点漂移 7
6. 13 热零点漂移 7
6. 14 热满量程输出漂移 7
6. 15 零点长期稳定性 7
6. 16 动态性能 8
6. 17 环境影响试验 8
6. 18 疲劳寿命 9
7 检验规则 9
7. 1 检验分类 9
7. 2 出厂检验 9
7. 3 型式检验 10
8 标志 、包装 、运输及贮存 11
8. 1 产品标志 11
8. 2 包装 11
8. 3 运输 12
8. 4 贮存 12
附录 A (规范性附录) 传感器性能指标的计算方法 13
A. 1 实际工作特性 13
A. 2 参比工作直线 13
A. 3 满量程输出值(YF. S) 14
A. 4 非线性(ξL ) 14
A. 5 迟滞(ξH ) 15
A. 6 重复性(ξR ) 15
A. 7 准确度(ξ) 15
A. 8 零点漂移(dz) 16
A. 9 零点长期稳定性(rz) 16
A. 10 热零点漂移(α) 17
A. 11 热满量程输出漂移(β) 17
A. 12 振动对传感器零点影响(Z0 ) 17
A. 13 外磁场对传感器输出的影响(Cc) 17
Ⅱ
GB/T 26807—2011
前 言
本标准附录 A 为规范性附录 。
本标准由中国机械工业联合会提出并归 口 。
本标准起草单位 : 昆山双桥传感器测控技术有限公司 、沈阳仪表科学研究院 、传感器国家工程研究中心 、国家仪器仪表元器件质量监督检验中心 。
本标准主要起草人 :尤彩红 、刘沁 、王冰 、王文襄 、刘波 、徐秋玲 、徐长伍 、唐慧 、李延夫 。
Ⅲ
GB/T 26807—2011
硅压阻式动态压力传感器
1 范围
本标准规定了硅压阻式动态压力传感器的分类与命名 、基本参数 、要求 、检验方法 、检验规则及标志 、包装 、运输和贮存 。
本标准适用于硅压阻式动态压力传感器(以下简称传感器)的生产 、使用 、验收等 。
2 规范性引用文件
下列文件中的条款通过本标准的引用而成为本标准的条款 。凡是注 日期的引用文件 ,其随后所有的修改单(不包括勘误的内容)或修订版均不适用于本标准 ,然而 ,鼓励根据本标准达成协议的各方研究是否可使用这些文件的最新版本 。凡是不注日期的引用文件 ,其最新版本适用于本标准 。
GB/T 2423. 1—2008
电工电子产品环境试验 第 2部分 :试验方法 试验 A:低温(IEC 60068-2-
1:2007,IDT)
GB/T 2423. 2—2008
电工电子产品环境试验 第 2部分 :试验方法 试验 B:高温(IEC 60068-2-
2:2007,IDT)
GB/T 2423. 3—2006
电工电子产品环境试验 第 2 部分 :试验方法 试验 Cab: 恒定湿热 试 验
(IEC 60068-2-78:2001,IDT)
GB/T 2423. 5—1995 电 工 电 子 产 品 环 境 试 验 第 2 部 分 : 试 验 方 法 试 验 Ea和 导 则 : 冲 击
(idtIEC 60068-2-27:1987)
GB/T 2423. 10—2008 电工电 子 产 品 环 境 试 验 第 2 部 分 : 试 验 方 法 试 验 Fc:振 动 (正 弦)
(IEC 60068-2-6:1995,IDT)
GB/T 2423. 15—2008 电工电子产品环境试验 第 2部分 :试验方法 试验 Ga和导则 :稳态加速度(IEC 60068-2-7:1986,IDT)
GB/T 2423. 22—2002 电 工 电 子 产 品 环 境 试 验 第 2 部 分 : 试 验 方 法 试 验 N: 温 度 变 化
(IEC 60068-2-14:1984IDT)
GB/T 2829—2002 周期检查计数抽样程序及表(适用于对过程稳定性的检验)
GB/T 7666—2005 传感器命名法及代号
GB/T 14479 传感器图用图形符号
GB/T 15478 压力传感器性能试验方法
JJG 624—2005 动态压力传感器
3 分类与命名
3. 1 分类
按感受压力类型分为 :表压 、绝压 、差压 。
3. 2 型号命名与图形符号
传感器型号命名 ,按 GB/T 7666—2005的规定命名 。
传感器的图形符号 ,按 GB/T 14479的规定 。
1
GB/T 26807—2011
4 基本参数
4. 1 测量范围
传感器测量范围的上限值推荐从下列数值中选取 :
±1. 0×10n、±1. 6×10n、±2. 0×10n、±2. 5×10n、±3. 0×10n、±4. 0×10n、±5. 0×10n、± 6. 0×
测量范围的单位为帕(Pa) 、千帕(kPa) 、兆帕(MPa) 、吉帕(GPa) 。
10n、±8. 0× 10n 。其中 n=0、1、2、3… … 。也可以按用户特定要求设定 。下限值若无特殊要求则为零 。
4. 2 被测压力介质及兼容性
介质类型 :气体 、液体 。
介质性质 :导电性 、腐蚀性 、放射性 。
必要时给出与被测介质接触的传感器结构材料的名称 、牌号和兼容性 。
4. 3 激励
4. 3. 1 恒压激励
传感器采用恒压激励时 ,直流激励电压的数值从下列数值中选取 : 3 V、5 V、6 V、9 V、10V、12V、 15V、18V、24V、36V。激励可采用单电源 ,也可采用双电源方式 。
传感器用于高频动态压力测量时 ,激励电源宜采用线性电源 。
4. 3. 2 恒流激励
传感器采用恒 流 激 励 时 , 直 流 激 励 电 流 的 数 值 从 下 列 数 值 中 选 取 : 0. 5 mA、0. 8 mA、1 mA、 1. 2 mA、1. 5 mA、2 mA、3 mA、5 mA、10mA。
4. 4 标称桥阻
传感器桥阻的 标 称 阻 值 从 下 列 数 值 中 选 取 : 350 Ω、600 Ω、1 kΩ、2 kΩ、3 kΩ、4 kΩ、5 kΩ、8 kΩ、 10kΩ,标称桥阻的允差用其阻值的百分数表示 ,宜采用下列数值 : ±10%、±25%、±40% 。
4. 5 工作介质温度范围
传感器工作介质温度的下限值优先从下列数值中选取 : -60℃ 、-55℃ 、-45℃ 、-40℃ 、-30℃ 、 -25℃ 、-20℃ 、-10℃ 、0 ℃ 。
传感器工作介质温度的上限值优先从下列数值中选取 : 50℃ 、60℃ 、70℃ 、85 ℃ 、100 ℃ 、125 ℃ 、 150℃ 、180℃ 、200℃ 、250℃ 、300℃ 、350℃ 、400℃ 、450℃ 。
4. 6 工作环境温度范围
传感器工作环境温度的下限值从下列数值中选取 : -55℃ 、-25℃ 、-10℃ 、0 ℃ 。
传感器工作环境温度的上限值从下列数值中选取 :50℃ 、60℃ 、70℃ 、85℃ 、100℃ 、125℃ 。
4. 7 补偿温度范围
传感器补偿温度的下限值优先从下列数值中选取 : -55℃ 、-40℃ 、-25℃ 、-20℃ 、-10℃ 、0 ℃ 。
传感器补偿温度的上限值优先从下列数值中选取 :50℃ 、60℃ 、70℃ 、85℃ 、100℃ 、125℃ 、150℃ 、 200℃ 、250℃ 。
4. 8 贮存温度范围
贮存温度范围的下限温度通常等于或低于下限工作环境温度 10℃ ,贮存温度范围的上限温度通常等于或高于上限工作环境温度 10℃ ~ 20℃ 。
5 要求
5. 1 总则
传感器应符合本标准与详细规范的规定 。
2
GB/T 26807—2011
5. 2 外观
传感器的外观应无明显的瑕疵 、划痕 、锈蚀和损伤 ;螺纹部分应无毛刺 ;标志应清晰完整 、准确无误 。超高频响的壁面反射型及自由场型产品敏感受力膜片应与外端面齐平 ,无明显凹凸及腔室结构 , 自 由场型产品流线型应光滑平整 。
5. 3 外形及安装尺寸
传感器的安装密封方式对动态特性有很大的影响 ,传感器的外形及安装尺寸应符合详细规范的规定 ,按类型及产品结构由制造商在产品使用说明书中给出适用的安装密封方式 。
5. 4 输入阻抗
传感器的输入阻抗应符合详细规范的规定 。无内置信号调理电路时 ,从下列数值中选取 :
350Ω、600Ω、1 kΩ、2 kΩ、3 kΩ、5 kΩ、10kΩ、20kΩ。
5. 5 输出阻抗
传感器的输出阻抗应符合详细规范的规定 。无内置信号调理电路时 ,从下列数值中选取 :
250Ω、350Ω、500Ω、600Ω、1 kΩ、2 kΩ、3 kΩ、5 kΩ。
5. 6 负载阻抗
传感器的负载阻抗应符合详细规范的规定 。
5. 7 绝缘电阻
传感器的绝缘电阻值从下列数值中选取 :50MΩ、100MΩ、200MΩ、500MΩ。
测量绝缘电阻所用直流电压从下列数值中选取 :50V、100V、125V、250V、500V。
5. 8 绝缘强度
测量绝缘强度 ,用频率为 50Hz正弦交流电压测试 ,传感器应无击穿及飞弧现象 。测试电压从下列值中选取 :50V、110V、220V、380V、500V。
5. 9 静态性能
5. 9. 1 零点输出
无内置信号调理电路时 ,零点输出从下列数值中选取 :在 ±1mV、±2mV、±5mV、±10mV、±25mV范围内 ;有内置信号调理电路时 ,零点输出从下列数值中选取 :应小于 1%F. S、2%F. S、5%F. S。
5. 9. 2 满量程输出
传感器的 满 量 程 输 出 应 符 合 详 细 规 范 的 规 定 。 无 内 置 信 号 调 理 电 路 时 , 从 下 列 数 值 中 选 取 : 30mV、50mV、75 mV、100mV、150mV。
5. 9. 3 非线性
传感器的非线性应符合详细规范及表 1 的规定 。
5. 9. 4 迟滞
传感器的迟滞应符合详细规范及表 1 的规定 。
5. 9. 5 重复性
传感器的重复性应符合详细规范及表 1 的规定 。
5. 9. 6 准确度
传感器的准确度应符合详细规范及表 1 的规定 。
表 1 传感器准确度等级、非线性、迟滞、重复性
准确度等级
非线性 %F. S
迟滞 %F. S
重复性 %F. S
准确度 %F. S
0. 05
≤0. 025
≤0. 025
≤0. 025
±0. 05
0. 1
≤0. 05
≤0. 05
≤0. 05
±0. 1
0. 25
≤0. 10
≤0. 10
≤0. 10
±0. 25
3
GB/T 26807—2011
表 1 (续)
准确度等级
非线性 %F. S
迟滞 %F. S
重复性 %F. S
准确度 %F. S
0. 5
≤0. 25
≤0. 25
≤0. 25
±0. 5
1. 0
≤0. 5
≤0. 5
≤0. 5
±1. 0
2. 5
≤1. 0
≤1. 0
≤1. 0
±2. 5
5. 0
≤2. 5
≤2. 5
≤2. 5
±5. 0
5. 10 过载
传感器的过载应符合详细规范的规定 。过载恢复后的具体要求 ,应符合相应准确度等级的要求 。
5. 11 零点漂移
传感器在规定时间内的零点漂移应符合详细规范的规定 。
规定时间从下列时间中选取 :4、8、24、72、120,单位 :小时(h) 。
无内置信号调理电路时 ,漂移量从下列值中选取 :小于 0. 05mV、0. 1mV、0. 2mV、0. 3mV、0. 5mV。
有内置信号调理电路时 ,漂移量从下列值中选取 :小于 0. 05%F. S、0. 1%F. S、0. 25%F. S。
5. 12 热零点漂移
传感器的热零点漂移应符合详细规范及表 2 的规定 。
5. 13 热满量程输出漂移
传感器的热满量程输出漂移应符合详细规范及表 2 的规定 。
表 2 热零点漂移和热满量程输出漂移
准确度等级
热零点漂移 %F. S/℃
热满量程输出漂移 %F. S/℃
0. 05
±0. 01
±0. 01
0. 1
±0. 03
±0. 03
0. 25
±0. 04
±0. 04
0. 5
±0. 05
±0. 05
1. 0
±0. 08
±0. 08
2. 5
±0. 10
±0. 10
5. 0
±0. 20
±0. 20
5. 14 零点长期稳定性(必要时)
在规定的时间(一般为半年或一年)内 ,传感器零点长期稳定性应符合详细规范的规定 。
5. 15 动态性能
5. 15. 1 频率响应
传感器的频率响应应符合详细规范的规定 。
5. 15. 2 谐振频率
传感器的谐振频率应符合详细规范的规定 。
5. 15. 3 自振(振铃)频率
传感器的自振(振铃)频率应符合详细规范的规定 。
5. 15. 4 上升时间
传感器输出响应的上升时间应符合详细规范的规定 。
5. 15. 5 过冲量(必要时)
传感器输出的过冲量应符合详细规范的规定 。
4
GB/T 26807—2011
5. 15. 6 幅频误差
在用正弦压力激励校准时 ,传感器的输出幅值灵敏度相对误差应符合详细规范的规定 。
5. 15. 7 相移误差
在用正弦压力激励校准时 ,传感器的输出相移误差应符合详细规范的规定 。
5. 16 环境影响特性
5. 16. 1 高温试验
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 16. 2 低温试验
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 16. 3 温度变化
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 16. 4 振动
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 16. 5 冲击
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 16. 6 加速度
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 16. 7 外磁场(必要时)
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 16. 8 湿热(必要时)
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
5. 17 疲劳寿命(必要时)
试验后传感器外观应符合 5. 2 的规定 ,静态性能应符合 5. 9 的规定 。
6 试验方法
6. 1 环境条件
6. 1. 1 参比大气条件
传感器的参比性能应在下述大气条件下进行试验 :
— 温度 :20℃ ±2℃ ;
— 相对湿度 :65%±10% ;
— 大气压力 :86kPa~ 106kPa。
6. 1. 2 一般试验的大气条件
当传感器不可能或无必要在参比大气条件下进行试验时 ,推荐使用下述大气条件 :
— 温度 :15℃ ~ 35℃ ;
— 相对湿度 :30% ~ 85% ;
— 大气压力 :86kPa~ 106kPa。
注 :试验期间允许的温度变化 ,每 1 h不大于 1 ℃ 。相对湿度范围也可由供需方商定 。
6. 2 校准条件
6. 2. 1 校准系统
校准系统应符合 GB/T 15478的规定 。
6. 2. 2 校准前准备
检查被校传感器的 外 观 和 标 志 是 否 完 好 , 电 气 连 接 部 分 是 否 符 合 要 求 , 传 感 器 应 无 影 响 试 验 的缺陷 。
5
GB/T 26807—2011
将被校传感器的电源 ,读数装置和压力源按规定的方法连接好 。对压力系统进行检漏 , 以防由于泄漏引起校准误差 。
被校传感器及仪 器 要 在 试 验 环 境 下 存 放 1 h 以 上 , 达 到 温 度 平 衡 。 按 规 定 的 时 间 预 热 后 , 开 始校准 。
6. 3 外观
用目测方法 ,或用 5倍的放大镜检查传感器的外观 ,结果应符合 5. 2 的规定 。
6. 4 外形及安装尺寸
用几何量具或仪器检查 ,结果应符合 5. 3 的规定 。
6. 5 输入阻抗
如传感器电路为无源电路时 ,传感器输出端开路 ,直接测量其输入端的阻抗 。
如传感器电路为有源电路时 ,可采用以下方法 :
在传感器输入端加激励电压 ,测量输入回路电流 ,按公式(1)计算 。
Ri = (Ui/Ii) × 10-3 ………………………………( 1 )
式中 :
Ri— 输入阻抗 ,千欧(kΩ) ;
Ui— 输入端电压 ,伏(V) ;
Ii— 输入回路电流 ,安培(A) 。
结果应符合 5. 4 的规定 。
6. 6 输出阻抗
如传感器电路为无源电路时 , 电路输入端短路 ,直接测量其输出端的阻抗 。
如传感器为有源电路时 ,可采用以下方法 :
保持输入的压力值不变 ,分别测量压力传感器在输出端开路和接有 10kΩ 负载电阻情况下的输出电压 ,按公式(2)计算 。
式中 :
R0— 输出阻抗值 ,千欧(kΩ) ;
UKL— 输出端开路时的电压 ,伏(V) ;
UFL— 带 10kΩ负载时的电压 ,伏(V) 。
结果应符合 5. 5 的规定 。
R0 = 10(UKL -UFL)/UFL ………………………………( 2 )
6. 7 负载阻抗
传感器输入端施加激励电源 ,输出端接上可变电阻器作为输出负载阻抗 。测试时 , 由输出端开路状态 ,接上可变电阻器 ,再由最大阻值状态逐步调小可变电阻器的阻值 ,直至压力传感器的输出值随可变电阻器的阻值减小而变化 ,在规定的负载电阻变化范围内传感器输出的最大变化量不超过允许误差绝对值的 50% ,这时可变电阻器的阻值就是传感器的负载阻抗 ,结果应符合 5. 6 的规定 。
6. 8 绝缘电阻
在被测传感器不施加激励电源的条件下 ,用绝缘电阻测试仪或相应仪表 ,按照详细规范规定的直流测试电压 ,测量传感器引出线(当与外壳无连接端时)与壳体之间的绝缘电阻 ,结果应符合 5. 7 的规定 。
6. 9 绝缘强度
用绝缘强度测试仪在传感器引出线(当与外壳无连接端时)与壳体之间 ,施加详细规范规定的交流电压 ,历时 1 min,结果应符合 5. 8 的规定 。
6. 10 静态性能
6. 10. 1 测试方法
传感器在符合 6. 2 的规定条件下 ,对传感器施加不少于 3 次满量程压力的预压 ,使被测传感器压力
6
GB/T 26807—2011
升到测量上限值 ,待压力稳定后降压 ,返回零点 。然后在传感器测量上 、下限的全量程范围内选择均匀分布的 5个 ~ 11个试验点进行检测 ,并且重复 3 次或 3 次以上的升 、降压检测循环 。
按附录 A计算传感器的性能指标 。
6. 10. 2 零点输出
在不加压力载荷的情况下测量传感器的输出 ,结果应符合 5. 9. 1 的规定 。
对绝压传感器 ,应在输入绝对真空压力时测量传感器的输出值 。也可输入不大于 10Pa的压力代替真空 ,但实际输入的压力应不大于传感器测量范围的 0. 01% 。否则 ,应对输出值应进行修正 ,按公式(3)
计算零点输出 。
Y0 =Y′0- bx ………………………………( 3 )
式中 :
Y0— 零点输出 ,V;
Y0(′)— 输入绝对压力不大于 10Pa时的输出值 ,V;
b— 校准特性曲线的端点连线的斜率 ,V/Pa;
x— 输入的绝对压力值 ,Pa。
对差压传感器 ,在高 压 端 和 低 压 端 同 时 通 大 气 时 , 测 量 传 感 器 的 输 出 值 。 结 果 应 符 合 5. 9. 1 的规定 。
6. 10. 3 满量程输出
传感器 测 量 上 限 与 测 量 下 限 输 出 之 差 的 绝 对 值 (以 参 比 直 线 的 计 算 值 为 依 据) , 按 附 录 A公式(A.13) 、公式(A. 14) 、公式(A. 15)计算 ,结果应符合 5. 9. 2 的规定 。
6. 10. 4 非线性
按附录 A公式(A. 16) 、公式(A. 17)计算传感器非线性 ,结果应符合 5. 9. 3 的规定 。
6. 10. 5 迟滞
按附录 A公式(A. 18)计算传感器的迟滞 ,结果应符合 5. 9. 4 的规定 。
6. 10. 6 重复性
按附录 A公式(A. 22)计算传感器的重复性 ,结果应符合 5. 9. 5 的规定 。
6. 10. 7 准确度
按附录 A公式(A. 30)计算传感器的准确度 ,结果应符合 5. 9. 6 的规定 。
6. 11 过载
按详细规范规定施加过载负荷 ,保持时间不少于 1 min,然后卸载至零负荷 ,重复 3 次 ,恢复 3 min,按 6. 10规定的方法进行静态性能试验 ,结果应符合 5. 10的规定 。
6. 12 零点漂移
按详细规范规定的条件 ,在不加载荷的条件下 ,按规定的间隔和时间记录传感器的零点输出 ,按附录 A公式(A. 31)计算零点漂移 ,结果应符合 5. 11的规定 。
6. 13 热零点漂移
将传感器放入高低温试验箱 ,分别在室温 20℃ ±2℃ 、补偿温度范围上限温度 、下限温度各恒温详细规范规定的时间 ,检测记录各温度点的零点输出值 ,按附录 A公式(A. 33)计算热零点漂移 ,结果应符合 5. 12的规定 。
6. 14 热满量程输出漂移
将传感器放入高低温试验箱 ,分别在室温 20℃ ±2℃ 、补偿温度范围上限温度 、下限温度各恒温详细规范规定的时间 ,检测记录各温度点的满量程输出值 ,按附录 A公式(A. 34)计算热满量程输出漂移 ,结果应符合 5. 13的规定 。
6. 15 零点长期稳定性
对传感器施加规定电压激励 ,每天通电不少于 2 h; 30d进行一次 8 h 的试验 ,试验前应恒温通电
7
GB/T 26807—2011
1 h,记录间隔为 1h,工作温度应保持在 20℃ ±2℃ ,考核时间为半年或一年 。按附录 A公式(A. 32)计算传感器零点长期稳定性 ,结果应符合 5. 14的规定 。
6. 16 动态性能
6. 16. 1 试验方法瞬态激励法 :
将传感器与激波管或快速开启阀相连接 ,对于负压传感器用爆破膜片发生器产生一个负的阶跃压力信号 , 阶跃压力的上升时间至少应是被测传感器上升时间的三分之一或更短 。 当激励装置产生一个阶跃压力信号时 ,用瞬态记录仪器记录传感器的响应波形 。
