您当前的位置：首页 > GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 > 下载地址1
GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法
- 名 称：GB/T 42263-2022 硅单晶中氮含量的测定 二次离子质谱法 - 下载地址1
- 类 别：电子信息
- 下载地址：[下载地址1]
- 提 取 码：
- 浏览次数：3
发表评论 加入收藏夹 错误报告目录| 新闻评论（共有 0 条评论） |
资料介绍
本文件描述了硅单晶中氮含量的二次离子质谱测试方法。
本文件适用于硼锦、砷磷的掺杂浓度小于1X10（20）cm-3(0.2%)的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1X10（14）cm-3
注:硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。
本文件适用于硼锦、砷磷的掺杂浓度小于1X10（20）cm-3(0.2%)的硅单晶中氮含量的测定，测定范围不小于1X10（14）cm-3
注:硅单晶中氮含量以每立方厘米中的原子数计。
相关推荐
- GB/T 51257-2017 液化天然气低温管道设计规范 高清晰版
- GB∕T 39333-2020 滑动轴承 样件类型质量保证 定义、应用和测试
- GB∕T 40773-2021 变电站辅助设施监控系统技术规范
- GB/T 40733-2021 焊缝无损检测 超声检测 自动相控阵超声技术的应用
- GB 8950-2016 食品安全国家标准 罐头食品生产卫生规范
- GB 25327-2017 氧化铝单位产品能源消耗限额
- GB/T 18856.6-2008 水煤浆试验方法 第6部分：密度测定
- GB/T 14791-2013 螺纹 术语
- GB∕T 32224-2020 热量表
- GB/T 28809-2012 轨道交通 通信、信号和处理系统 信号用安全相关电子系统
