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SJ/T 11516-2015 薄膜晶体管（TFT）用掩模版规范
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资料介绍
主要技术内容包括：1、产品分类；2、技术要求：包括环境要求、材料要求、外观尺寸要求、图形尺寸要求、外观要求、缺陷要求；3、试验方法；4、检验规则；5、标志、包装、运输和储存。
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