JIS C 5630-30-2020 半导体器件 微机电器件 第30部分:MEMS压电薄膜机电转换特性的测量方法 上一篇: JIS C 5630-28-2020 半导体器件 微机电器件 第28部分:振动驱动MEMS驻极体能量收集装置的性能 下一篇: JIS C 61188-7-2020 印制板和印制板组件 设计和使用 第7部分:用于CAD库构建的电子零部件零定