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QB/T 4540-2013 超高压短弧汞灯
- 英文名称：Super high pressure short-arc mercury lamp
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：ndah
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资料介绍
本标准规定了超高压短弧汞灯的型号命名、主要尺寸、要求、检验方法、检验规则、标志、包装、运输及储存。
本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。
本标准适用于光刻、光固化、老化试验等设备中的曝光用直流超高压短弧汞灯。
