JJG 740-2005 研磨面平尺 清晰版

中华人民共和国国家计量检定规程

JJG 740—2005

研磨 面平 尺

2005-03-03发布 2005-09-03实施

国家 质量 监督 检验 检疫 总局 发布

研磨面平尺检定规程

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代替 JJG 740—1991

本规程经国家质量监督检验检疫总局于 2005年 3 月 3 日批准 , 并自2005年 9月 3 日起施行。

归口 单位 : 全国几何量工程参量计量技术委员会

起草 单位 : 北京市计量科学研究所

本规程委托全国几何量工程参量计量技术委员会负责解释

本规程起草人 :

马桂茹 (北京市计量科学研究所)吴迅 (北京市计量科学研究所)

刘振福 (北京市计量科学研究所)

目录

量() 数) … … … … … … … … … (( ))

1 范围

本规程适用于研磨面平尺首次检定、后续检定和使用中检验。

2 引用文献

本规程引用下列文献 :

JJG 28—2000平晶

JJG 661—2004平面等倾干涉仪

JJF 1001—1998通用计量术语及定义

JJF 1059—1999测量不确定度评定与表示

JJF 1094—2002测量仪器特性评定

ISO 14253.2:1999测量设备校准和产品检验中 GPS测量不确定度评定指南使用本规程时 , 应注意使用上述引用文献的现行有效版本。

3 概述

研磨面平尺是一种精密的平面标准器具 , 其结构形状如图 1 中 (a)、 (b) 所示。研磨面平尺主要用于检定刀口形直尺工作棱边的直线度。

图 1 研磨面平尺结构示意图

4 计量性能要求

4.1 工作面的表面粗糙度

研磨面平尺工作面的表面粗糙度 , 应符合表 1 的规定。

表 1 研磨面平尺工作面的表面粗糙度

4.2 工作面的平面度

研磨面平尺工作面的平面度 , 应符合表 2 的规定。

表 2 研磨面平尺工作面的平面度

5 通用技术要求

5.1 外观

研磨面平尺非工作面上应标有制造厂名 (或厂标)、产品编号、尺寸规格及标志。

5.2 表面质量

研磨面平尺工作面不得有锈迹、裂纹、划痕、碰伤及影响测量准确度的其他缺陷。研磨面平尺应无磁。

后续检定和使用中检验允许有不影响测量的上述缺陷。

6 计量器具控制

计量器具控制包括首次检定、后续检定和使用中检验。

6.1 检定条件

6.1.1 环境条件

6.1.1.1 检定室温度应为 (20±5)℃ ; 温度变化不得超过 0.1℃/h和 1℃/24h。

6.1.1.2 检定室内的温度与仪器保温箱内的温度之差应不大于 0.2℃。

6.1.1.3 研磨面平尺在检定室内平衡温度的时间应不少于 10h。长平晶与研磨面平尺放置在仪器内的时间 , 对小于等于 330mm 研磨面平尺和 210mm 长平晶应不少于 1h; 对大于 330mm研磨面平尺和 310mm 长平晶应不少于 1.5h。

6.1.2 检定设备

检定设备见表 3。

6.2 检定项目

检定项目见表 3。

6.3 检定方法

6.3.1 外观及表面质量

目力观察与手动试验。

6.3.2 工作面的表面粗糙度

用表面粗糙度比较样块比较法测量。有争议时用表面粗糙度测量仪测量。

6.3.3 工作面的平面度

以长平晶作为标准 , 在平面等倾干涉仪 (装置) 中对研磨面平尺平面度进行测量。当被测研磨面平尺的有效长度小于或等于长平晶的长度时 , 采用等倾干涉法 (见附

录 A) 整段测量。

当被测研磨面平尺的有效长度超过长平晶长度 (如 300mm 或 500mm 研磨面平尺和210mm 长平晶) 时 , 采用等倾干涉法分段测量。

表 3 检定项目和主要检定设备

分段测量的步骤 :

等倾干涉法分段测量时 , 每段测量长度为 180mm, 在 180mm 长度上测 7个点 , 计算各测点对 0与 180mm 两点连线的偏差。然后仪器工作台退回一半即 90mm, 加接长管 ,光斑中心对准 90mm 处十 字线 , 移动 长平 晶 (此时 被测 研磨 面平 尺不 许做 任何 移动) ,并使长平晶的零十字刻线处于光斑中心上 ; 且移动工作台时长平晶上所有十字线都能通过光斑中心 , 取下接长管 , 让十字线与干涉环中心重合 , 移动工作台保证所有十字线都能通过干涉环中心。经过适当等温后 , 进行测量 (90~ 270) mm 间各测点对 90mm 与270mm 两点连线的偏差。

对于研磨面平尺长度不足 90mm 的部分 , 可以将长平晶只移位 30mm 或 60mm。例如 , 测量 330mm 的研磨面平尺可分为三段测至 270mm, 然后再将长平晶移动 30mm 即测量 120mm 至 300mm 间各测点对 120mm 与 300mm 两点连线的偏差。

根据 90mm处对 0与 180mm两点连线的偏差 a1 , 180mm处对 90mm 与 270mm 两点连线的偏差 a2 , … , ai-1 , 按式 (1) 求出 90mm, 180mm, 270mm, … 各点 对 0 与 300mm两端点连线的偏差 fi。

式中 : n— 段数 ;

i— 测点序号。

常用段 (n=3~6) 的分段法计算式 (1) 的简化公式见附录 B。

f120 , f150 , ……的 (重复偏差之差应不大于 1/6平面度要求 , 否则应重测) , 取其平均值为测量值。并根据长平晶各点平面度偏差和自重变形量 (见 JJG 28—2000平晶检定规程附录 F) 对研磨面平尺各对应点进行修正后 , 按符合最 小条 件准 则处 理后 得到 测量 结果。

分段测量研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例见附录 C。

研磨面平尺横向平面度用平面平晶等厚干涉法进行测量。

也可用带有 φ310mm标准平晶的等厚干涉仪测量。 当有争议时以等倾干涉法测量结果为准。

6.4 检定结果的处理

经检定符合本规程要求的研磨面平尺发给检定证书。不符合本规程要求的 , 发给检定结果通知书 , 并注明不合格项目。

6.5 检定周期

研磨面平尺的检定周期根据使用情况确定 , 一般不超过 1年。

附录 A

等倾干涉法测量平面度及计算

等倾干涉法测量原理如图 A.1所示。

将两块尺寸差小于 0.1μm 的量块 , 分别研合在长平晶工作面上两端。也可用专用的三球支承架 (钢球直径为 3.18mm 三个钢球的直径差应小于 0.1μm) 代替量块。使用球支承架时 , 支承架的 3个支承点应尽量与工作台支承点相重合。

图 A.1 等倾干涉仪 (装置) 测量原理示意图

1—观察孔 ; 2—玻璃分化板 ; 3—半反射镜 ; 4—透镜 ; 5—光阑 ; 6—光源 ;

7—长平晶 ; 8—支承量块 ; 9—被测研磨面平尺 ; 10—支承 ; 11—可移动工作台

被测研磨面平尺工作面向上 , 放在仪器工作台的两个可调距离支承点上 , 两支承点

应置于被测研磨面平尺 2L处 (L— 研磨面平尺长度)。此时应将长平晶连同研合在其

上的量块 (或球形支承架) 放在被测研磨面平尺工作面上。

被测研磨面平尺工作面与长平晶工作面 , 由量块支承 (或球形支承架支承) 形成一个平行空气层。它位于平面等倾干涉仪 (装置) 光路中的聚焦点附近 , 并与光轴垂直 ,此时在平面等倾干涉仪 (装置) 目镜里可观察到一组等倾干涉环。这时工作台从一端移至另一端时 , 两端干涉环级数的变化应不超过一环。再将测微目镜取下 , 装上接长管 ,重新套上测微目镜 , 调整目镜 (即调整接长管的工作长度) , 使目镜视场内能同时见到照明光斑的像与长平晶上的十字线。调整长平晶上各点的十字刻线与工作台运动方向平行 , 且光斑中心与十字刻线重合。将零十字刻线调到光斑中心上 , 并调整位移手轮上的刻度至零位或需要的位置上 , 然后取下接长管 , 装上测微目镜 , 再次检查干涉环的变

化 , 直至两端的干涉环变化小于一环为止。将仪器保温箱门关上 , 按要求平衡温度。

用等倾干涉法测量研磨面平尺平面度 , 实质上是测量研磨面平尺工作面与长平晶工作面间空气层厚度的变化。设各点空气层厚度为 H0 , H1 , H2 , … , Hn , 则某一点 i对两端点 (0点和 n点) 连线的偏差 Fi。

式中 : Fi—i点对 0点与 n点连线的偏差 ; H0、Hi、Hn—0点、i点及 n 点的空气层厚度 ;

Li—i点到 0点的距离 , mm;

Ln—n点到 0点的距离 , mm。

设 0点的空气层厚度 H0 = ΔK0 +K0 , K0 为 0点空气层厚度中干涉仪级数 , ΔK0 为

其干涉级数的小数部分 , 其他各点的空气层厚度 Hi=ΔKi+K0 , ΔKi 为 i点空气层厚度

工作台移动时 , 当移向空气层厚度变小处 , 在视场中可以看到干涉环会一环一环向中心收缩以致消失 , 每消失一个干涉环 , 表明长平晶与被测研磨面平尺表面空气层厚度(亦即长平晶与被测研磨面平尺工作面距离小了; 当干涉环扩张时 , 每扩张一个干涉环 , 则表明其厚度增大了。

为了使得到的结果 “+ ” 表示凸 , “- ” 表示凹 , 规定每收缩消失一个干涉环时 ,表示干涉级数 “增大” 一级 (用 “+1” 表示) ; 每扩大产生一个新干涉环时 , 表示干涉环级数 “减少” 一级 (用 “-1” 表示)。

通常 , 干涉环收缩或扩张不到一个环的小数部分 ΔKi, 可用下式计算 :

当干涉环扩张时 , (A.3)

当干涉环收缩时 , ΔKi (A.4)

式中 : Di—i点所测干涉环直径 , mm;

D0— 仪器标准干涉环直径 , mm;

λ— 光波波长 , μm。

标准干涉环直径 D0 是根据空气层厚度确定的仪器常数 , 由仪器出厂及周期检定时提供 , 也可以通过实测由式 (A.5) 确定 :

D0 = D+1-D (A.5)

为保证 D0 的准确 , 应取多次测量的平均值。测量次数不得少于 10次 , 每次测量时应改变干涉环直径。

当测量一组干涉环直径时 , 标准干涉环直径可由式 (A.6) 求得 :

式中 : K— 自中心起的干涉环环数 ;

DK — 自中心起第 i环的直径。

当 K=4 时 D

当 K=5 时 D

测量时 , 将被测研磨面平尺工作面分为 7个测点逐点检定 , 移动工作台观察并记取每段干涉环的变化量 Ki, 检定每段不到一个环的小数部分并计算出 ΔKi 再按式 (A.9)进行计算 , 求得被测研磨面平尺工作面各测点对两端点连线的偏差 Fi:

式中 : Ki—从 0点到 i点干涉环变化的整数部分 ;

Kn—从 0到 n点干涉环变化的整数部分 ;

ΔK0—0点干涉级数小数部分 ;

ΔKi—从 0点到 i点干涉环变化的小数部分 ;

ΔKn—从 0点到 n点干涉环变化的小数部分。

再根据长 平晶 各点 平面 度偏 差和 自重 变形 量 (见 JJG 28—2000 平晶 检定 规程附录 F) 对被测研磨面平尺各对应点的偏差进行修正。 当对两端点连 线偏 差符 号相 同时 , 取其最大偏差做为研磨面平尺工作面的平面度 ; 若出现符号相反时 , 按符合最小条件准则处理得到被测研磨面平尺工作面的平面度。

附录 B

常用段 (n= 3~ 6) 分段法计算式 (1) 的简化公式n= 3:

n= 4:

n= 5:

n= 6:

附录 C

分段测量研磨面平尺工作面平面度的数据处理示例

对于 300mm研磨面平尺 , 可用 210mm 长平晶在等倾干涉仪中分段测量。测量时分 0至 180mm, 90mm至 270mm, 120mm至 300mm 三段进行 , 每次测量 180 mm 段中的7个测点 , 共得 21个读数 , 并按下述方法进行数据处理 , 参见表 C.1。

C.1 计算 0至 180mm 间各点对 0与 180mm 两点连线的偏差

按式 (A.9) 且考虑长平晶平面度偏差 , 计算该 180mm 长度上各测点对 0 与 180mm两点连线的偏差。

C.2 计算 (90至 270) mm 间各点对 90与 270mm 两点连线的偏差

按式 (A.9) 且考 虑长 平晶 平面 度偏 差 , 计算 该 180mm 长度 上各 测点 对 90 与270mm 两点连线的偏差。

C.3 计算 (120至 300) mm 间各点对 120与 300mm 两点连线的偏差

按式 (A.9) 且考虑长 平晶 平面 度偏 差 , 计算 该 180mm 长度 上各 测点 对 120 与300mm 两点连线的偏差。

C.4 计算 (0至 270) mm 间各点对 0与 270mm 两点连线的偏差

根据表 C.1, 90mm 处对 0与 180mm 两点连线的偏差 a1 = -0.076μm, 180mm 处对

90与 270mm 两点连线的偏差 a2 = -0.205μm, 按式 (1) 或附录 B 中简化公式计算 , 求

f90 -0.238(μm)

再根据 f90及 f180的值将其余各点补插进去 , 从而求得被测研磨面平尺 0至 270mm 间各点对 0与 270mm 两点连线的偏差。

对于 f120及 f150各有两个测得值 , 分别计算相应测得值之差 , 当其不超过 300mm 研磨面平尺平面度要求 (0.4μm) 的 1/6时 (超过时应重测) , 取其平均值作为测得值。 即

C.5 计算 0至 300mm 间各点对 0与 300mm 两点连线的偏差

在 120mm 至 300mm 测量段内 , 以 120mm 与 270mm 两点连线为基准 , 并延长至300mm, 得到 300mm这点对此连线的偏差。这点偏差与在 0至 270mm 测量段内测量结果中连接120与 270mm 两点并延长至 300mm 得到的偏差叠加起来 , 得到 300mm 这点偏差 ,即可求得 0至 300mm 间各点对 0 与 300mm 两点连线的偏差。按符合最小条件准则处理得到测量结果 (参见表 C.2)。

表 C.1 D0 = 3.92mm

表 (续) λ= 0.590μm

附录 D

研磨面平尺工作面平面度测量结果不确定度评定

D.1 概述

通过对常用规格的研磨面平尺工作面平面度测量结果不确定度的评定 , 确认本规程提出的测量原理、测量方法、测量程序和测量条件的合格性。

D.2 任务和目标不确定度

D.2.1 测量任务

测量 200mm 和 330mm 研磨面平尺工作面的平面度。

D.2.2 目标不确定度

根据 JJF 1094—2002《测量仪器特性评价》 中 5.3.1.4 的规定 , 评定研磨面平尺工作面平面度的不确定度 U95与其最大允许误差的绝对值 MPEV之比 , 应小于或等于1 ∶ 3,我们按保守估计取 k=3, 即

U99≤ MPEV (D.1)

则相应目标不确定度 UT =U991D.标。不确定度 UT 一览表

D.3 原理、方法、程序和条件

D.3.1 测量原理

非接触式技术光波干涉法 , 与一已知平面 (参考平面) 比较法测量。 D.3.2 测量方法

采用等倾干涉法。在等倾干涉仪中用 210mm 长平晶与 200mm 的研磨面平尺整段比较测量或与 330mm 的研磨面平尺分段比较测量 , 得到的测量值修正长平晶工作面平面度后 ,按最小条件计算得到研磨面平尺工作面的平面度。

D.3.3 初始测量程序

— 用平面等倾干涉仪 (装置) 测量研磨面平尺平面度 ;

— 210mm 长平晶做标准器 ;

— 等倾干涉仪做比较仪使用。

— 两个 1mm 量块研合在长平晶两端做支撑用 ;

— 研磨面平尺放置在检定室内的温度平衡时间不少于 10h;

— 长平晶与研磨面平尺放置在仪器内的温度平衡时间 :

对于 200mm 研磨面平尺和 210mm 长平晶不少于 1h;

对于 330mm 研磨面平尺和 210mm 长平晶不少于 1.5h。

D.3.4 初始测量条件

— 平面等倾干涉仪 (装置) 经检定应符合 JJG 661—2004 《平面等倾干涉仪》 国家计量检定规程的要求 ;

— 210mm 长平晶的规格经检定符合 JJG 28—2000 《平晶》 国家计量检定规程的要求 ;

— 210mm 长平晶工作面的平面度经检定符合 JJG 28—2000 《平晶》 国家计量检定规程的要求 , 且具有修正自重变形影响后平面度数据的检定证书 ;

— 经检定两块 1mm 量块的尺寸差小于 0.1μm;

— 检定室温度 : (20±5)℃ , 温度变化不得超过 0.1℃/h和 1℃/24h;

— 检定室内的温度与仪器保温箱内的温度之差小于 0.2℃ ;

— 测温仪的分辨力 : 0.01℃ ;

— 长平晶的制造材料是 K9 光学玻璃 , 研磨面平尺是钢制的 ;

— 操作人员是经过培训的 , 并且十分熟悉平面等倾干涉仪 (装置) 的使用。 D.4 测量装置图示

测量装置图示见图 A.1。

D.5 不确定度来源及其说明

不确定度来源及其说明见表 D.2。

表 D.2 研磨面平尺工作面平面度测量不确定度分量概况和评注

D.6 首次评估

D.6.1 首次评估— 不确定度分量的说明及计算

(1) udw — 测量点定位误差 B类评定

测量点定位误差主要是等倾干涉仪纵、横向定位系统的误差引起 , 由测量点纵向定位误差和横向定位误差组成。 由于标准干涉环直径和被测干涉环直径是比较测量 , 测量目标是研磨面平尺工作面的平面度 , 且其数值很小。 因此对检定合格的等倾干涉仪而言 , 测量点定位误差对测得值的影响很小 , 可以忽略不计。

udw ≈0

(2) ubz— 标准干涉环直径 B类评定

根据 JJG 661—2004《平面等倾干涉仪》 检定规程规定 , 在 10个不同干涉级数的情况下进行 10 次标 准干 涉环 直径 D0 的测 量 , 其平 均值 D0 的不 确定 度 (3s) 不超 过0.01mm , 即影响量的极限值 a* =0.01mm。其对被测量影响的极限值 a计算如下 :

根据干涉环小数级数的计算公式 :

ΔKi= (Di/D0) 2

得 dΔKi= | -2ΔKi/D0 | ×dD0

取 dD0 =a* , 正、负号表示干涉环收缩方向与极限值大小无关 , 取其绝对值。

有 dΔKiD0a*

则 a = dΔKiλ/2

实际测量时 , 取 ΔKi≈1, D0 = 3.87mm, λ= 0.5893μm (λ— 钠光波长以下同不再

说明) , a* =0.010mm, 则

a= (2× 1/3.87) × 0.010× (0.5893/2)≈0.0015(μm)

保守估计为矩形分布 , 取分布因子 b=0.6, 标准干涉环直径的不确定度分量 ubz:

ubz=ab=0.0015× 0.6=0.0009 (μm)

(3) umj— 测微目镜的误差 B类评定

测微目镜误差引入的不确定度分量 umj , 主要由测微目镜示值误差的不确定度分量ums和其回程误差的不确定度分量 umh两部分构成。

测微目镜的回程误差在考虑干涉环小数级数测量重复性时 , 已将其影响计算进去 ,为避免重复计算 , 故在此不予考虑 , umh=0。

测微目镜示值误差的不确定度分量 ums的评定 B类评定

根据 JJG 661—2004《平面等倾干涉仪》 检定规程 , 平面等倾干涉仪测微目镜示值

最大允许误差在全量程范围内为 ±0.010mm , 极限值 a* =0.010mm 对被测量影响的极

限值 a按下式计算 :

ΔKi=(Di/D0) 2

有 dΔKidDi

令 dDi=a*

有 dΔKia*

取 ΔKi≈1,D0 = 3.87mm,λ=0.5893μm ,a* =0.010mm,则

a= (2× 1/3.87) × 0.010× (0.5893/2)≈0.0015μm

估计为正态分布 , 取分布因子 b=0.5, 则测微目镜示值误差的不确定度分量 ums:

ums=ab=0.0015μm×0.5=0.00076μm

测微目镜误差的不确定度分量 umj

umj=ums=0.00076μm

(4) ugr— 干涉环小数级数测量重复性 B类评定

根据 JJG 661—2004《平面等倾干涉仪》 国家计量检定规程规定 , 10次重复测量得

到干涉环小数级测量的重复性 , 其值 (3s) 应小于 0.025个干涉级数 , 即 a* =0.025个

值 a为

a= (a* / 3)λ/2= (0.025/ 3) × 0.5893/2=0.0043(μm)

估计为正态分布 , 取分布因子 b=0.5, 则

ugr=ab=0.0043× 0.5=0.00215 (μm)

(5) unb— 挠度变形 B类评定研磨面平尺和长平晶的自重会引起其挠度变形 , 对测量结果产生影响。

测量方法中规定研磨面平尺在测量时 , 两支承点置于被测研磨面平尺 (2/9) L处 ,

认为此时产生的挠度变形最小 , 未对其予以修正。根据有关资料常见结构的研磨面平尺

其最大自重变形量及其不确定度分量 uny=ab见表 D.3。表中研磨面平尺的最大自重变

形量 a按保守估计服从矩形分布 , 分布因子 b=0.6。

长平晶由于测量时 , 两量块置于长平晶的两端点处 , 其自重引起的挠度变形对测量结果会产生影响 , 但长平晶自重对其平面度的影响在长平晶的检定证书已予以修正 , 因此此项不确定度分量主要考虑长平晶自重变形量测量的扩展不确定度。 根据 JJG 28—

2000 《平晶》 国家计量检定规程 , 长平晶自重变形量测量的扩展不确定度 U (k=3) 和

表 D.4 长平晶自重变形量测量的扩展不确定度U 和不确定度分量unp

挠度变形引起的不确定度分量 unb :

当 L=200mm 时 unb= 0.00182 +0.00332 =0.0038 (μm)

当 L=330mm 时 unb= 0.00422 +0.00332 =0.0053 (μm)

温度对测量结果的影响主要表现在两个方面 , 对 20℃的偏离和温度变化。在满足规程所规定的条件下 , 温度偏离 20℃对测量结果的影响很小可忽略不计。 温度变化对测量结果的影响较大。

当环境温度符合本规程所规定的温度条件时 , 在平面等倾干涉仪保温箱内 , 等温1h后 , 研磨面平尺和长平晶的自身温度不一致性均应小于 0.05℃ , 温度变化对测量影响的极限值为 :

对 L=200mm 的研磨面平尺线胀系数 αy= 11.5×10-6/℃ , 平尺宽度 ly1=36mm, 温

度差 ΔT=0.05℃ ,

保守估计符合矩形分布 , 取 b=0.6, 则

对 L=330mm的研t1 ty1.00-.60,.宽(μ2)=60mm, ΔT=0.05℃ ,

uty2 =aty2b=0.0345×0.6=0.021 (μm)

对 210mm长平晶

utp=atpb=0.01×0.6=0.006 (μm)

环境温度对 L=200mm 的研磨面平尺平面度测量的影响 uht1 :

环境温度对 L=330mm 的研磨面平尺平面度测量的影响 uht2 :

当研磨平尺长度 L=330mm 时 , 采用 210mm 长平晶分段测量是一个经济、有效的测

~270) mm 范围内每点是两次测得值取平均作为该点测量结果 , 由于下列各不确定度分

量之间无值得考虑的相关性 , 因此分段测量时 , 两次测得值引起的不确定度分量 ufd :

ufd= 2× (uw+uz+uj+ur+ub+ut)

= 2× (0+0.00092 +0.000762 +0.00222 +0.00532 +0.0222) =0.032 (μm)

(8) upp— 长平晶工作面平面度 B类评定

长平晶工作面平面度直接对研磨面平尺的测量结果产生影响 , 为此在检定方法中对其进行修正。 根据 JJG 28—2000 《平晶》 , 长平 晶工 作面 平面 度的 测量 扩展 不确 定度

U (k=3)和不分pp.。的扩展不确定度U 和不确定度分量upp

D.6.2 首次评估— 不确定度分量之间的相关性

没有任何输入量具有值得考虑的相关性。

D.6.3 首次评估— 合成标准不确定度和近似不确定度

当各不确定度分量之间的不存在相关性时 , 合成标准不确定度为

当 L=200mm 整段测量时 ,

uc= 0+0.00092 +0.000762 +0.00222 +0.00382 +0.0142 +0.00332 =0.015 (μm)

当 L=330mm 分段测量时 ,

取 k=3, 则近似不确定度 UE :

UE =uck

当 L=200mm 整段测量时 , UE =0.015× 3=0.045 (μm)

当 L=330mm 分段测量时 , UE =0.032× 3=0.096 (μm)

首次评定的不确定度概算汇总见表 D.6。

表 D.6 不确定度概算汇总 (首次评定)

D.6.5 首次评定的不确定度概算讨论上述计算结果表明 :

对 L=200mm 研磨面平尺整段测量时 , UE =0.045μm

对 L=330mm 研磨面平尺分段测量时 , UE =0.096μm

目标不确定度已经得到满足 , 即 UE

D.7 不确定度评定报告

上述 210mm 长平晶 整段 法测 量 200mm 研磨 面平 尺工 作面 平面 度和 分段 法测 量330mm研磨面平尺工作面平面度的测量结果不确定度评定表明 , 采用本规程规定的测量条件、方法和程序测量研磨面平尺工作面平面度 , 相应目标不确定度均已经得到满足 ,即 UE

L=200mm 研磨面平尺整段测量时 , UE =0.045μm

L=330mm 研磨面平尺分段测量时 , UE =0.096μm

附录 E

检定证书和检定结果通知书内页格式

E.1 检定证书内页格式

检定 结果

温度 : ℃ 湿度 : %

E.2 检定结果通知书内页格式

具体要求同 D.1, 并指出不合格项目。