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EJ/T 20176-2018 金刚石刀具刃口锋利度的原子力显微镜测量方法

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  • 类  别:核工业标准
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资料介绍

本标准规定了使用原子力显微镜(以下简称 AFM)测量金刚石刀具刃口锋利度的方法,包括金刚 石刀具刃口锋利度的测量原理、测量方法、测量要求、测量步骤、数据处理及检测报告。
本标准适用于 20 nm~100 nm 金刚石车刀刃口锋利度的测量,100 nm 以上刀具刃口锋利度测量也 可参照执行。
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