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GB/T 32997-2016 表面化学分析 辉光放电发射光谱定量成分深度剖析的通用规程

  • 英文名称:Surface chemical analysis-General procedures for quantitative compositional depth profiling by glow discharge optical emission spectrometry
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资料介绍

本标准规定了辉光放电发射光谱法测定材料表层薄膜的厚度、质量(单位面积)和化学成分的方法。
本标准仅限于辉光放电发射光谱法深度剖析定量化通用规程的描述,并不能直接应用于具有不同厚度和元素的待测个体材料的定量化。
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