GB/Z 42624-2023 真空技术 真空计 放气率的测试和报告程序

本文件规定了真空室整体及其组件的放气率测试程序。本文件适用的放气率由应用于高真空或超高真空的设备产生，在23℃时小于1×10-5Pa·m3·s-1（1×10-2Pa·L·s-1），放气产生的各种气体或蒸气的分子量均小于300u。
总放气率的上限1×10-5Pa·m3·s-1与放气材料的尺寸、总表面积、材质或者状态无关。如果标称放气率（单位面积放气率）已测定，则该面积采用名义几何表面积，而非包括表面粗糙度的比表面积。当难以测定样品（如粉末、多孔材料、非常粗糙的表面或者复杂的设备等）的名义几何表面积时，采用单位质量放气率（如每克放气率）。
在许多实际应用中，只需确定总放气率。如果使用了灵敏度与气体种类有关的测试仪器，则总放气率以等效氮气放气率的形式给出。如果总放气率很高，为了改进样品材料，存在需要辨别干扰气体的种类和测定其放气率的情况。本文件涵盖上述两种情况。
放气产生的一些分子能够被表面吸附且滞留时间远长于总测试时间。这些分子不在直接路径上时，也不能被测试仪器检测到。这可认为是一种表面效应，采用表面分析研究远比这里考虑的常规放气率测量更加行之有效。同时，受紫外光或X射线照射从表面释放的分子，也不适用于本文件。
制定本文件是为了使放气率的测试方法标准化，使得在不同实验室和采用不同方法获得的测试值具有可比性。为此，对于本文件中规定的任一种方法，每种方法中最重要的参数可依据计量水平溯源到国际基本单位（SI）。
质量损失法是一种与气体种类无关的放气率测试方法，主要用于航天器及卫星材料的放气率测试。在可接受的测试时长范围内，质量损失法可测试的放气率（＞1×10-5Pa·m3·s-1）明显高于常规高真空和超高真空组件的放气率。而且，由于天平不适于在真空环境下应用，考虑到真空室的重量，无法原位测试样品。
因此,本文件未考虑质量损失法。
本文件适用于熟悉高真空和超高真空技术以及相应的测试仪器(例如,电离真空计和四极质谐仪等)使用的人员。