T∕CESA 1082-2020 多晶硅制造业绿色工厂评价要求

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T∕CESA 1082-2020 多晶硅制造业绿色工厂评价要求

本标准规定了多晶硅制造业绿色工厂评价（以下简称“评价”）的原则、方法、指标体系及要求、程序和报告格式等。
本标准适用于对运用三氯氢硅法和硅烷法生产多晶硅产品的工厂进行评价，运用其他工艺方法生产制造多晶硅产品的工厂可参照使用。