T/CPIA 0083-2024 智能制造 光伏行业应用 晶体硅光伏电池用在线方阻测试仪通信规范

ICS 27.160
CCS F12
T/CPIA 0083—2024 智能制造光伏行业应用晶体硅光伏电 池用在线方阻测试仪通信规范
Intelligent manufacturing—Used in the photovoltaic industry—
Communication specification for online square resistance tester for
crystal silicon photovoltaic cells
2024 - 08 - 30 发布2024 - 09 - 15 实施
中国光伏行业协会 发布

目 次
前 言............................................................................ III
1 范围................................................................................ 1
2 规范性引用文件...................................................................... 1
3 术语和定义.......................................................................... 1
4 接口、交互信息、约定................................................................ 1
4.1 数据交互接口方式及协议.......................................................... 1
4.2 交互信息........................................................................ 2
4.3 协议约定........................................................................ 6

前 言
本文件按照GB/T 1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定
起草。
请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。
本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会提出。
本文件由中国光伏行业协会标准化技术委员会归口。
本文件起草单位：北京北方华创微电子装备有限公司、湖南红太阳新能源科技有限公司、深圳市捷
佳伟创新能源装备股份有限公司、英利能源发展有限公司、嘉兴阿特斯技术研究院有限公司、天合光能
股份有限公司、正泰新能科技有限公司、无锡尚德太阳能电力有限公司。
本文件主要起草人：曹凯悦、杨浩、纪安宽、曾湘峰、罗之华、马红娜、蒋方丹、丁志强、何胜、
吴宇。


1 范围
本文件规定了晶体硅光伏电池工艺设备、装卸机与在线方阻测试仪的通信接口、交互信息以及约定
要求。
本文件适用于晶体硅光伏电池的工艺设备、装卸机和在线方阻测试仪，用于完成工艺设备或装卸机
与在线方阻测试仪之间的通信，传输方阻信息，进而实现方阻信息的传输功能。
2 规范性引用文件
本文件没有规范性引用文件。
3 术语和定义
下列术语和定义适用于本文件。
3.1
舟boat
晶体硅光伏电池工艺处理中用于承载硅片的载具，包含石英舟、碳化硅舟、铝舟和石墨舟。
3.2
舟对应管号boat-to-tube matching number
已完成工艺的舟工艺时对应的炉管的编号。
3.3
装卸机external wafer handle；EWH
对舟上的硅片进行自动装载或卸载的自动化设备。
3.4
区域zone
舟中的硅片所在位置对应的工艺设备的温区。
注：舟中的硅片按所在位置分为n 个区域，对应工艺设备的n 个温区。区域1 到区域n 依次对应炉尾至炉口各温区。
六段温区时，区域1 到区域6 对应工艺设备的炉尾、后炉尾、后中、前中、前炉口、炉口。五段温区时区域1
到区域5 分别对应工艺设备炉尾、后中、中、前中、炉口。温区数量由实际硬件结构决定。
4 接口、交互信息、约定
4.1 数据交互接口方式及协议
工艺设备或装卸机与在线方阻测试仪通讯基于TCP/IP协议，工艺设备或装卸机作为客户端，在线方
阻测试仪作为服务器端，服务器端的默认端口宜为505。具体数据交互接口方式及协议见表1。
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表1 工艺设备、装卸机与在线方阻测试仪数据交互接口方式及协议
交互内容接口方式协议
方阻数据以太网自定义TCP/IP
4.2 交互信息
4.2.1 向在线方阻测试仪发送报文要求
在线方阻测试仪检测前，装卸机将硅片对应的工艺设备名称、管号、舟号、温区信息发送给在线方
阻测试仪。报文内容应该包含报文起始符、EquipmentID到End之间的数据长度（包括分隔符号）、工艺
设备名称、舟对应管号、舟号、硅片所在温区的区域码、终止符，向在线方阻测试仪发送硅片信息时的
报文格式应符合表2的要求。
表2 装卸机向在线方阻测试仪发送硅片信息时的报文格式
序号内容描述
1 TX 报文起始符
2 DATA Length 数据长度
3 EquipmentID 工艺设备名称
4 TubeID 舟对应管号
5 BoatID 舟号
6 A-Z 硅片所在温区对应的区域码
7 END 终止符
硅片信息命令中的内容应为字符串，温区对应区域码前后为分号，其余分隔符均为逗号，所有字符
区分大小写。
示例：TX,14,001,1,Boat1;A;END。
4.2.2 在线方阻测试仪回复报文要求
在线方阻测试仪收到硅片信息后，回复报文包含报文起始符、数据长度、工艺设备名称、管号、舟
号、温区区域码、终止符，与收到的硅片信息差别仅为起始符不同。在线方阻测试仪回复收到的硅片信
息时的报文格式应符合表3的要求。
表3 在线方阻测试仪回复装卸机报文格式
序号内容描述
1 RX 报文起始符
2 DATA Length 数据长度
3 EquipmentID 工艺设备名称
4 TubeID 舟对应管号
5 BoatID 舟号
6 A-Z 硅片所在温区对应的区域码
7 END 终止符
4.2.3 在线方阻测试仪发送方阻报文要求
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在线方阻测试仪发送整舟硅片的方阻信息对应的报文内容应包含报文起始符、CommandID到End之间
的数据长度（包括分隔符号）、方阻是否正常、工艺设备名称、舟对应管号、舟号、区域码及所对应的
方阻信息、终止符，在线方阻测试仪发送的报文格式及数据内容应符合表4的要求。
表4 在线方阻测试仪向工艺设备发送方阻信息报文格式及数据内容
序号内容描述
1 TX 报文起始符
2 DATA Length 数据长度
3 CommandID 方阻是否正常（0:异常1:正常）
4 EquipmentID 工艺设备名称
5 TubeID 舟对应管号
6 BoatID 舟号
7 A 区域1 对应区域码A
8 方阻平均值区域1 的方阻平均值
9 方阻标准差区域1 的方阻标准差
10 方阻最大值区域1 的方阻最大值
11 方阻最小值区域1 的方阻最小值
12 均匀性区域1 的均匀性（多点方阻值的最大值-最小值）/(2×平均值)
13 质量代码
区域1 的质量代码
0：超出管控范围
1：正常范围
2：正常范围和管控范围之间，预警
14 测试距离有效标志
区域1 的测试距离有效标志
0：无效（测量的多点中有一个或者多个不在有效范围内）
1：有效（测量的多点中所有点均在有效范围内）
15 ……预留扩展如不需传输9~15，可以只传输方阻平均值，加；结束此温区的值传输
16 B 区域2 对应区域码B
17 方阻平均值区域2 的方阻平均值
18 方阻标准差区域2 的方阻标准差
19 方阻最大值区域2 的方阻最大值
20 方阻最小值区域2 的方阻最小值
21 均匀性区域2 的均匀性（多点方阻值的最大值-最小值）/(2×平均值)
22 质量代码
区域2 的质量代码
0：超出管控范围
1：正常范围
2：正常范围和管控范围之间，预警
23 测试距离有效标志
区域2 的测试距离有效标志
0：无效（测量的多点中有一个或者多个不在有效范围内）
1：有效（测量的多点中所有点均在有效范围内）
24 ……预留扩展如不需传输18~24，可以只传输方阻平均值，加；结束此温区的值传输
25 C 区域3 对应区域码C
26 方阻平均值区域3 的方阻平均值
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表4 在线方阻测试仪向工艺设备发送方阻信息报文格式及数据内容（续）
序号内容描述
27 方阻标准差区域3 的方阻标准差
28 方阻最大值区域3 的方阻最大值
29 方阻最小值区域3 的方阻最小值
30 均匀性区域3 的均匀性（多点方阻值的最大值-最小值）/(2×平均值)
31 质量代码
区域3 的质量代码
0：超出管控范围
1：正常范围
2：正常范围和管控范围之间，预警
32 测试距离有效标志
区域3 的测试距离有效标志
0：无效（测量的多点中有一个或者多个不在有效范围内）
1：有效（测量的多点中所有点均在有效范围内）
33 ……预留扩展如不需传输27~33，可以只传输方阻平均值，加；结束此温区的值传输
34 D 区域4 对应区域码D
35 方阻平均值区域4 的方阻平均值
36 方阻标准差区域4 的方阻标准差
37 方阻最大值区域4 的方阻最大值
38 方阻最小值区域4 的方阻最小值
39 均匀性区域4 的均匀性（多点方阻值的最大值-最小值）/(2×平均值)
40 质量代码
区域4 的质量代码
0：超出管控范围
1：正常范围
2：正常范围和管控范围之间，预警
41 测试距离有效标志
区域4 的测试距离有效标志
0：无效（测量的多点中有一个或者多个不在有效范围内）
1：有效（测量的多点中所有点均在有效范围内）
42 ……预留扩展如不需传输36~42，可以只传输方阻平均值，加；结束此温区的值传输
43 E 区域5 对应区域码E
44 方阻平均值区域5 的方阻平均值
45 方阻标准差区域5 的方阻标准差
46 方阻最大值区域5 的方阻最大值
47 方阻最小值区域5 的方阻最小值
48 均匀性区域5 的均匀性（多点方阻值的最大值-最小值）/(2×平均值)
49 质量代码
区域5 的质量代码
0：超出管控范围
1：正常范围
2：正常范围和管控范围之间，预警
50 测试距离有效标志
区域5 的测试距离有效标志
0：无效（测量的多点中有一个或者多个不在有效范围内）
1：有效（测量的多点中所有点均在有效范围内）
51 ……预留扩展如不需传输45~51，可以只传输方阻平均值，加；结束此温区的值传输
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表4 在线方阻测试仪向工艺设备发送方阻信息报文格式及数据内容（续）
序号内容描述
52 F 区域6 对应区域码F
53 方阻平均值区域6 的方阻平均值
54 方阻标准差区域6 的方阻标准差
55 方阻最大值区域6 的方阻最大值
56 方阻最小值区域6 的方阻最小值
57 均匀性区域6 的均匀性（多点方阻值的最大值-最小值）/(2×平均值)
58 质量代码
区域6 的质量代码
0：超出管控范围
1：正常范围
2：正常范围和管控范围之间，预警
59 测试距离有效标志
区域6 的测试距离有效标志
0：无效（测量的多点中有一个或者多个不在有效范围内）
1：有效（测量的多点中所有点均在有效范围内）
60 ……预留扩展如不需传输54~60，可以只传输方阻平均值，加；结束此温区的值传输
61 END 所有数据传送完毕
详细方阻信息等命令中的内容应为字符串,方阻数据起始以及方阻值后是分号，其余分隔符均为逗
号，所有字符区分大小写。
注：区域个数可自由增加，个数由实际硬件结构决定，区域码在A基础上增加。
每个温区携带的数据可进行定制，默认只携带方阻平均值，可以逗号分隔携带方阻标准差、方阻最大值、方阻
最小值、均匀性、质量代码、测试距离有效标志数据，如需携带其他表格外数据，需以逗号分隔，按顺序在测
试距离有效标志后进行扩展。
示例：TX,50,0,001,1,Boat1;A,83.4;B,84.2;C,80;D,82;E,80.1;F,92;END。
4.2.4 回复在线方阻测试仪报文要求
工艺设备回复在线方阻测试仪的报文内容应包含报文起始符、CommandID到End之间的数据长度（包
括分隔符号）、方阻是否正常、工艺设备名称、舟对应管号、舟号、成功状态、终止符，工艺设备回复
的报文格式及数据内容应符合表5的要求。
表5 工艺设备回复在线方阻测试仪报文格式及数据内容
序号内容描述
1 RX 报文起始符
2 DATA Length 数据长度
3 CommandID 方阻是否正常（0:异常1:正常）
4 EquipmentID 工艺设备名称
5 TubeID 舟对应管号
6 BoatID 舟号
7 Information 成功:OK 不成功:错误码
8 END 所有数据传输完毕
回复报文的内容应为字符串,分隔符均为逗号，所有字符区分大小写。
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6
示例：RX,18,0,001,1,BoatID,OK,END。
4.3 协议约定
在请求在线方阻测试仪检测方阻时，装卸机按照4.2.1 的要求主动向在线方阻测试仪发送硅片信息，
在线方阻测试仪应该按照4.2.2 的要求回复报文。
在线方阻测试仪应在检测完一舟方阻后，按照4.2.3 的要求主动向工艺设备或者其他第三方设备发
送方阻信息，应发送全部温区的方阻信息。第三方设备应在收到方阻信息后按照4.2.4 的要求回复在线
方阻测试仪。
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