您当前的位置：首页 > T/CASAS 010-2019 氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法 > 下载地址2
T/CASAS 010-2019 氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法
- 名 称：T/CASAS 010-2019 氮化镓材料中痕量杂质浓度及分布的二次离子质谱检测方法 - 下载地址2
- 类 别：综合团体标准
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：
- 浏览次数：3
发表评论 加入收藏夹 错误报告目录| 新闻评论（共有 0 条评论） |
资料介绍
本标准规定了用二次离子质谱仪测定半导体氮化镓材料中痕量杂质（硅、铝、锌、铁）浓度及分布的方法。
本标准适用于半导体氮化镓材料中痕量杂质（硅、铝、锌、铁）浓度及分布的分析，其中硅、铝、锌、铁的浓度均大于1×1015 atoms/cm3。其它杂质的检测可参照执行。
本标准适用于半导体氮化镓材料中痕量杂质（硅、铝、锌、铁）浓度及分布的分析，其中硅、铝、锌、铁的浓度均大于1×1015 atoms/cm3。其它杂质的检测可参照执行。
相关推荐
- T/HNJK 07-2025 药膳食品认证通则
- T/QGCML 817-2023 高固体份环氧绝缘漆试验方法
- T/QGCML 832-2023 高固体份聚酰亚胺漆
- T/CSRME 018-2021 城市地下空间施工安全自动监控系统技术指南
- T/CIECCPA 016-2024 滤袋产品碳足迹量化与评价方法
- T/CSAE 263-2022 电动汽车驱动电机系统控制器 故障注入测试规范
- T/QGCML 4183-2024 产业园项目管理运营平台
- T/ZBD 100.5-2023 建设工程结算审核作业指引
- T/PAYS 003-2024 磐安药膳九种体质养生套餐基本要求
- T/CPARK 25-2022 电机转子动平衡试验技术规范
