微制造与纳米技术

微制造与纳米技术
作　者： N.P.Mahalik 编；蔡艳，吴毅雄 等 译
出版时间： 2015
丛编项： 国际制造业先进技术译丛
内容简介
　　《微制造与纳米技术》一书主要介绍了微机电系统（MEMS）、微光机电系统（MOEMS）、激光技术在微制造中的应用、平版印刷术、体和表面微加工、纳米修整、误差补偿、碳纳米管、微能源化学系统、燃料电池、空间推进微结构、生物传感器等内容。书中用大量的数据、公式、图表和应用实例阐述了微制造与纳米技术的概念、理论、原理、设计思路、工艺、方法以及应用和前景等。
目录
译丛序言
译者的话
前言
第1章导论
11背景介绍
12概述
121精密工程
122微铣削和微型钻孔
13微机电系统
14微电子制造方法
141体微加工
142表面微加工
15微型化仪器
16微机械电子
17纳米修整
18光变图像
19微能源和化学系统
110空间微推进
111电子束纳米印刷
112纳米技术
113碳纳米管及其结构
114分子逻辑门
115纳米尺度生物传感器
116C60及其衍生物的化学
交联
117燃料电池
118参考文献
第2章微机电系统与微光机电
系统原理21概述
22执行器的驱动原理
23制造工艺
24机械微机电系统
241机械传感器
242加速度计、悬臂式
传感器和电容测量
243扬声器
244陀螺仪
245机械执行器
25热微机电系统
251计温学
252数据存储应用
253微型加热器气体
传感器
254热执行器
26磁微机电系统
27微光机电系统
28空间光调制器