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JB∕T 8946-2010 真空离子镀膜设备
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- 类 别:机械标准
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资料介绍
JB∕T 8946-2010 真空离子镀膜设备
本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备;电子束蒸发离子镀膜设备;磁控溅射离子镀膜设备;上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
替代JB/T 8946-1999
本标准规定了真空离子镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、设备检验及其品质评价、质量承诺以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于电弧蒸发离子镀膜设备;电子束蒸发离子镀膜设备;磁控溅射离子镀膜设备;上述三类离子镀膜设备的组合。其它类型的具有离子镀膜特征的设备可参照执行本标准。
替代JB/T 8946-1999