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资料介绍
本标准规定了真空蒸发镀膜设备的型式与基本参数、技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存等要求。本标准适用于极限压力在7×10∧-3～7×10∧-6Pa范围的真空蒸发镀膜设备。
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