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YS/T 23-2016 硅外延层厚度测定 堆垛层错尺寸法
- 英文名称：Test method for thickness of epitaxial layers—Stacking fault size
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：zdqc
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资料介绍
本标准规定了利用堆垛层错尺寸法测量硅外延层厚度的方法。
本标准适用于在<111>、<100>和<110>晶向的硅单晶衬底上生长的2μm～120μm硅外延层厚度的测量。
