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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉

  • 英文名称:Chemical vapor deposition furnace
  • 下载地址:[下载地址2]
  • 提 取 码yazm
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资料介绍

本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。 本标准适用于化学气相沉积。
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