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YS/T 1031-2015 化学气相沉积炉
- 英文名称：Chemical vapor deposition furnace
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- 提 取 码：yazm
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资料介绍
本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同（或订货单）内容。 本标准适用于化学气相沉积。
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