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资料介绍
本标准规定了硅抛光片表面的清洗方法。本标准适用于硅抛光片表面的清洗，经清洗后表面再现原来的状态。本标准不适用于表面存在环氧树脂之类有机残留物的硅抛光皮的清洗。
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