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GB/T 24578-2024 半导体晶片表面金属沾污的测定 全反射X射线荧光光谱法  下载

360book.com  2026-02-28 20:30:28  下载

  ICS 77. 040 CCS H 21  中 华 人 民 共 和 国 国 家 标 准  GB/T 24578—2024  代替 GB/T24578—2015,GB/T34504—2017  半导体晶片表面金属沾污的测定全反射 X 射线荧光光谱法  Testmethod formeasuringsurfacemetalcontamination on semiconductor  wafers—Totalreflection X-Rayfluorescencespectroscopy  2024-07-24发布 2025-02-01实...

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