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T/CASAS 036-2025 碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法  下载

360book.com  2025-06-28 17:42:28  下载

以下是对《碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法》(T/CASAS 0362025)核心内容的详细总结:​​一、标准概况​​ ​​标准号​​:T/CASAS 0362025 ​​名称​​:碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法 ​​目的​​:规范高纯度等静压石墨构件(纯度≥5N5)的杂质检测方法,填补国内空白,保障碳化硅单晶生长质量。 ​​适用对象​​: ​​主要​​...

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