以下是对《碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法》(T/CASAS 0362025)核心内容的详细总结:一、标准概况 标准号:T/CASAS 0362025 名称:碳化硅单晶生长用等静压石墨构件纯度测定方法 辉光放电质谱法 目的:规范高纯度等静压石墨构件(纯度≥5N5)的杂质检测方法,填补国内空白,保障碳化硅单晶生长质量。 适用对象: 主要... 上一篇:T/CASAS 037-2024 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC MOSFET)栅极电荷测试方法下一篇:T/CASAS 033-2024 碳化硅金属氧化物半导体场效应晶体管(SiC MOSFET)功率器件开关动态测试方