本文件规定了真空镀膜设备电磁屏蔽与辐射安全的术语和定义、材料、技术要求和试验方法。本文件适用于电气工作频率为40 MHz以下的工业用真空镀膜设备(以下简称“设备”)及设备的现场测量。 ... 上一篇:T/GVS 002-2021 高精度磁控溅射镀膜设备通用技术要求下一篇:T/GTM 012-2022 秦皇岛地区大樱桃种植和施肥管理技术规程