本标准规定了电子工业用六氟乙烷的技术要求、试验方法、包装、标志、贮运及安全。
本标准适用于工业用六氟乙烷经精制提纯而得的高纯六氟乙烷产品。主要在电子工业等离子蚀刻工艺中作为蚀刻气体或作为电子器元件清洗剂。


上一篇: GB/T 34055-2017 月球数字高程模型数据制作规范
下一篇: GB/T 34116-2017 智能电网用户自动需求响应 分散式空调系统终端技术条件