标 准 编 号：GB/T 22572-2008
简体中文标题：表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
繁体中文标题：表面化学分析 二次离子质谱 用多δ层参考物质评估深度分辨参数的方法
English Name：Surface chemical analysis - Secondary-ion mass spectrometry - Method for estimating depth resolution parameters with multiple delta-layer reference materials

标准简介：
本标准详细说明了在SIMS深度剖析中，用多δ层参考物质评估前沿衰变长度、后沿衰变长度和高斯展宽三个深度分辨参数的步骤。
由于样品表面的物理和化学态受一次入射离子影响而不稳定，本标准不适用于近表面区域的δ层。