微电机专业会议 会议录 绝源工艺和粘结技术交流会 1978年10月21日-10月25日 上一篇: 微机电系统(MEMS)工艺基础与应用 邱成军,曹姗姗,卜丹 著 2016年版 下一篇: 微米纳米技术丛书·MEMS与微系统系列 微机电耦合动力学 许立忠,孙丽波 著 2015年版