等离子体技术与应用实验教程作者:马志斌,付秋明,郑志荣 编著出版时间:2014年版内容简介 《等离子体技术与应用实验教程》内容涵盖等离子体技术典型应用和等离子体技术领域最新进展,把等离子体技术的理论知识与实践教学有机结合起来,设计实验教学体系并配套搭建等离子体技术实验教学平台,培养学生从事科研工作的兴趣,提高学生的创新意识和能力。全书分为四大部分,第一部分为等离子体基本原理实验,第二部分为等离子体在材料工程中的应用,第三部分为等离子体在微电子中的应用,第四部分为等离子体在环境工程中的应用。本书可作为理工科院校材料、物理、化学、环境等相关专业本科生、研究生的实验教材,也可供从事等离子体技术应用的工程技术人员使用和参考。目录第一部分:等离子体基本原理实验1实验一 直流低气压放电现象观察及伏安曲线的测量1实验二 气体击穿电压的测定及帕邢定律验证10实验三 汤森第一电离系数α及比值α/p的测定15实验四 直流辉光放电等离子体参数的测量19实验五 射频等离子体的激发特性研究25实验六 非磁化微波等离子体电子参数的测量29实验七 ECR微波等离子体离子参数的测量33第二部分:等离子体在材料工程中的应用39实验八 微波等离子体化学气相沉积实验——形核研究39实验九 微波等离子体化学气相沉积金刚石薄膜实验44实验十 直流等离子体溅射制备碳膜实验49实验十一 微波等离子体烧结氧化铝陶瓷实验56实验十二 微波等离子体冶金实验62实验十三 常压微波等离子体引发聚合实验67实验十四 微波等离子体射流制备纳米硅及其荧光特性研究72实验十五 直流辉光等离子体表面改性实验78实验十六 等离子体渗氮硬化金属表面实验85实验十七 微波等离子体化学气相沉积法低温合成碳纳米管92实验十八 纳米TiO2薄膜的微波等离子体改性99实验十九 空心微珠表面磁控溅射镀金属铜膜104第三部分:等离子体在微电子中的应用113实验二十 ECR微波等离子体刻蚀加工实验113实验二十一 微波等离子体CVD制备多晶硅薄膜太阳能电池实验117实验二十二 等离子体发射光谱分析实验126实验二十三 电子束蒸发镀膜与薄膜光学特性分析134第四部分:等离子体在环境工程中的应用143实验二十四 电晕等离子体处理有机废水的退色实验143实验二十五 电晕等离子体处理对有机废水化学需氧量(COD)的影响150实验二十六 常压微波等离子体射流处理有机工业废气实验154实验二十七 常压微波等离子体射流处理含硫废气实验158实验二十八 低温射频等离子体杀菌消毒实验165 上一篇: 等离子体发射光谱分析 第2版 [辛仁轩 编著] 2011年版 下一篇: 近红外光谱分析的原理、技术与应用 [严衍禄,陈斌,朱大洲 等编著] 2013年版