本文件规定了超精密单点金刚石车床的结构型式、基本要求、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输和贮存等内容。本文件适用于超精密单点金刚石车床的生产和质量控制。 上一篇: T/ZSA 222-2024 超高清视频信号专用网络传输技术规范 下一篇: T/ZSA 224-2024 半导体设备前端模块