稀土高K栅介质材料出版时间：2014年内容简介　　《稀土高K栅介质材料》主要介绍稀土高K栅介质材料Er2O3、Tm2O3薄膜的生长、结构及其特性，重点介绍了利用分子束外延方法获得超薄高K氧化物薄膜的方法。并运用多种手段对薄膜的生长过程、结构、电学特性及能带排列等进行了研究。《稀土高K栅介质材料》较为全面、系统地介绍了Er2O3、Tm2O3，作为高K栅介质候选材料的制备及相关物理性质。目录1.1 引...

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