AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究作者: 刘艳明 著出版时间:2018年版内容简介 《AlB2-type WB2基硬质薄膜的制备与性能研究》介绍了超硬自润滑硼化物薄膜——AlB2-type WB2基超硬薄膜的制备及改性。系统地描述了工艺参数(基体偏压、沉积温度、工作压强、靶功率)及N、C掺杂对AlB2-type WB2基硬质薄膜结构和性能(力学、摩擦热稳定性等)的影响规律及作用机制,建立了工艺参数、薄膜结构演变与性能之间的关系,揭示三种薄膜的强化机理及退化机制,阐述了AlB2-type WB2基硬质薄膜的潜在应用价值,为其他过渡族金属硼化物涂层的制备及改性提供了理论基础。目录第1章 绪论1.1 硬质薄膜及其发展历程1.1.1 普通硬质薄膜1.1.2 内禀性超硬薄膜1.1.3 外禀性硬质薄膜1.2 硬质薄膜的研究热点及问题1.2.1 硬质薄膜制备1.2.2 硬质薄膜组元微结构设计与其强化机制1.2.3 高性能硬质薄膜1.2.4 高性能靶材1.3 硬质薄膜的制备技术1.3.1 化学气相沉积1.3.2 物理气相沉积1.4 硬质薄膜的表征方法1.4.1 薄膜的显微结构1.4.2 薄膜的硬度1.4.3 薄膜的摩擦磨损性能1.4.4 薄膜的结合强度1.4.5 薄膜的残余应力1.5 WB2、W-B-N(C)硬质薄膜1.5.1 WB2相的研究现状1.5.2 W-B-N(C)硬质薄膜的研究现状1.5.3 AlB2-type WB2、W-B-N(C)硬质薄膜的研究内容第2章 AlB2-type WB2超硬薄膜的制备及表征2.1 实验材料与方法2.1.1 靶材与基体2.1.2 磁控溅射设备2.1.3 薄膜制备2.1.4 薄膜的表征方法2.2 实验结果与讨论2.2.1 薄膜形貌2.2.2 薄膜成分及化学键状态2.2.3 薄膜相结构2.2.4 薄膜显微结构2.2.5 薄膜硬度和弹性模量2.2.6 薄膜结合强度2.2.7 薄膜摩擦磨损性能2.3 小结第3章 AlB2-type WB2薄膜的工艺参数优化3.1 实验材料与方法3.1.1 靶材与基体3.1.2 AlB2-type WB2薄膜的制备3.1.3 AlB2-type WB2薄膜的表征方法3.2 实验结果与讨论3.2.1 基片偏压对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响3.2.2 基片温度对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响3.2.3 工作压强对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响3.2.4 靶功率对AlB2-type WB2薄膜结构及性能的影响3.3 小结第4章 W-B-N复合薄膜的制备及表征4.1 实验材料与方法4.1.1 W-B-N薄膜的制备4.1.2 W-B-N薄膜的表征方法4.2 实验结果与讨论4.2.1 W-B-N薄膜成分及结构4.2.2 W-B-N薄膜残余应力4.2.3 W-B-N薄膜力学及摩擦磨损性能4.2.4 W-B-N薄膜抗腐蚀性能4.2.5 W-B-N薄膜热稳定性4.3 小结第5章 W-B-C复合薄膜的制备及表征5.1 实验材料与方法5.1.1 W-B-C薄膜的制备5.1.2 W-B-C薄膜的表征方法5.2 实验结果与讨论5.2.1 W-B-C薄膜成分及结构5.2.2 W-B-C薄膜残余应力5.2.3 W-B-C薄膜力学及摩擦磨损性能5.2.4 W-B-C薄膜热稳定性5.3 小结参考文献 上一篇: 夹杂物干涉机制及其对材料细观损伤的影响机理 郭荣鑫,夏海廷,颜峰 2019年版 下一篇: 粉体制备原理与技术 姜奉华,陶珍东 编著 2019年版