金刚石膜制备与物性研究及应用作者： 吴春雷 著出版时间：2019年版内容简介 《金刚石膜制备与物性研究及应用》系统地研究了直流热阴极辉光等离子体辅助化学气象沉积金刚石膜的过程中，温度、压强、甲烷氢气流量比等实验参数对金刚石膜形貌、晶体结构和质量的影响；以甲烷、氢气为工作气体，研究低温低压下纳米金刚石膜的制备；探索向甲烷、氢气气氛中通入不同流量的三聚氰胺、氮气、氩气对沉积金刚石膜的表面形貌、结构、晶面取向及导电性能的影响，并以三聚氰胺为氮掺杂源，通过改变氩气氢气流量比制备高导电的纳米金刚石膜。《金刚石膜制备与物性研究及应用》可供从事金刚石膜制备的学者和其他从事材料研究的技术人员阅读，也可作为相关专业高等院校的本科生、研究生使用和参考。目录1 绪论1．1 金刚石的晶体结构1．2 金刚石的性能及应用1．2．1 力学性能及应用1．2．2 热学性能及应用1．2．3 电学性能及应用1．2．4 光学性能及应用1．2．5 化学性能及应用1．2．6 生物医学领域1．3 金刚石的分类1．4 化学气相沉积金刚石膜的研究进展及发展前景参考文献2 CVD金刚石的成膜机理及制备方法2．1 CVD法生长金刚石膜的机理2．2 CVD金刚石膜的制备方法简介2．2．1 热丝CVD法2．2．2 微波等离子体CVD法2．2．3 等离子体喷射CVD法2．2．4 电子回旋共振CVD法2．2．5 燃烧火焰辅助CVD法参考文献3 金刚石膜的制备设备和表征手段3．1 直流热阴极PCVD实验装置及实验准备3．1．1 直流热阴极PCVD实验装置3．1．2 直流辉光放电等离子体原理3．1．3 实验准备及样品的制备3．2 金刚石膜的形貌、结构和性能表征3．2．1 扫描电子显微镜（SEM）3．2．2 X射线衍射分析仪（XRD）3．2．3 激光拉曼光谱仪（Raman）3．2．4 霍尔效应测试仪（Hall）3．2．5 原子力显微镜3．2．6 透射电子显微镜（TEM）3．2．7 金相显微镜参考文献4 CH4/H2气氛下金刚石膜生长特性研究4．1 压强对金刚石膜生长特性的影响4．1．1 较高CH4浓度下压强对金刚石膜生长特性的影响4．1．2 较低CH4浓度下压强对金刚石膜生长特性的影响4．2 衬底温度对金刚石膜生长特性的影响4．2．1 SEM分析4．2．2 Raman分析4．2．3 XRD分析4．2．4 综合分析4．3 CH4流量对金刚石膜生长特性的影响4．3．1 SEM分析4．3．2 Raman分析4．3．3 XRD分析4．3．4 综合分析4．4 本章小结参考文献5 低温低压下纳米金刚石膜的制备及性能分析5．1 样品的制备5．2 结果与讨论5．2．1 SEM分析5．2．2 Raman分析5．2．3 XRD分析5．3 本章小结参考文献6 氮掺杂金刚石膜的制备与性能研究6．1 金刚石膜的掺杂研究概述6．2 氮源性质简介6．3 C3H6N6流量对金刚石膜的生长特性影响研究6．3．1 SEM分析6．3．2 Raman分析6．3．3 XRD分析6．3．4 电学性能分析6．4 N2流量对金刚石膜生长特性影响研究6．4．1 SEM分析6．4．2 Raman分析6．4．3 XRD分析6．4．4 电学性能分析6．5 NH3对金刚石膜生长特性影响研究6．5．1 SEM分析6．5．2 Raman分析6．5．3 XRD分析6．5．4 电学性能分析6．6 Ar气浓度对氮掺杂金刚石膜的生长特性影响6．6．1 SEM分析6．6．2 Raman分析6．6．3 XRD分析6．6．4 不同Ar/H2流量比对纳米晶金刚石膜电学性能的影响6．7 本章小结参考文献7 金刚石膜的高温氧化7．1 金刚石氧化现象和机理7．1．1 CVD金刚石膜的氧化现象7．1．2 CVD金刚石膜的氧化机理7．2 高温氧化对金刚石膜的性能的影响7．3 影响金刚石膜氧化性能的因素参考文献8 金刚石膜压力传感器8．1 金刚石传感器的相关技术8．1．1 金刚石膜的图形化技术8．1．2 金属化（金刚石传感器的欧姆接触）8．2 压阻式金刚石膜压力传感器8．2．1 压阻式传感器基本原理8．2．2 压阻式金刚石压力传感器的制造8．2．3 压阻式金刚石压力传感器研究现状及存在问题参考文献9 金刚石膜电极的电化学应用9．1 金刚石膜电极优势9．2 电化学污水处理9．3 离子水洗衣机9．4 电化学分析检测9．4．1 COD的检测9．4．2 医用药品的检测9．4．3 金属元素及其他无机物的检测9．4．4 生物传感器领域的应用9．4．5 农药残留以及食品添加剂的检测参考文献 上一篇: 薄膜物理与器件 [肖定全 朱建国 朱基亮 等编著] 2011年版 下一篇: 赤泥性质与利用研究 黄山秀，马名杰，李风海 著 2015年版
