先进光学元件微纳制造与精密检测技术 作者：郭隐彪 等编著出版时间：2014年版内容简介《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》以非球面光学元件的制造技术为代表，完整阐述了以超精密、确定性为特征的先进光学制造系统；重点论述了超精密磨削成形理论、磨削加工关键技术以及超精密机床设计技术；围绕实现确定性抛光，详细阐述了气囊抛光原理以及进动运动控制技术；介绍了基于坐标测量和干涉测量的非球面面形误差测量技术，加工轨迹规划原理和数据处理方法，以及不同加工阶段光学元件亚表面缺陷的检测方法。 《先进光学元件微纳制造与精密检测技术》内容丰富，理论分析深入，既涵盖了国内外先进光学制造技术领域的研究进展，又概括了作者多年积累的该领域科学研究成果，对于从事此方面研究的科技人员具有重要的参考价值和指导意义。目录第1章 绪论1.1 先进光学元件的应用及制造技术要求1.1.1 先进光学元件的特点1.1.2 先进光学元件的应用1.1.3 先进光学元件的制造技术要求1.1.4 先进光学元件的制造技术范畴1.2 先进光学元件的制造技术1.2.1 光学元件的模压成形技术1.2.2 光学元件的精密切削技术1.2.3 光学元件的精密磨削加工技术1.2.4 光学元件精密研抛技术1.2.5 精密光学加工环境控制技术1.3 先进光学元件的检测与评价技术1.3.1 先进光学元件的检测要求及难点1.3.2 光学元件的检测技术1.3.3 光学误差的评价方法参考文献第2章 先进光学元件加工装备技术2.1 机床设计理论2.1.1 机床设计要求2.1.2 机床设计方法2.2 超精密机床关键部件及技术2.2.1 主轴部件2.2.2 直线导轨部件2.2.3 微位移进给部件2.3 超精密机床数控技术2.3.1 数控技术2.3.2 超精密加工数控系统2.3.3 开放式数控系统2.3.4 超精密磨床数控电气设计实例2.4 超精密磨削加工装备2.4.1 超精密加工装备技术综述2.4.2 超精密磨削成形机床2.5 超精密加工工具技术2.5.1 超精密切削加工刀具技术2.5.2 超精密磨削砂轮技术参考文献第3章 先进光学元件磨削技术3.1 超精密磨削加工发展3.1.1 先进光学元件磨削技术概述3.1.2 延性磨削和镜面磨削3.2 超精密磨削过程分析3.2.1 超精密磨削机理3.2.2 磨削过程基本参数3.3 超精密磨削加工关键技术3.4 砂轮修整3.4.1 杯形砂轮修整3.4.2 ELID在线电解修整3.4.3 放电修整3.4.4 激光修整3.4.5 微小型磨削砂轮修整技术3.5 非球面磨削加工技术3.5.1 微小非球面加工技术3.5.2 大口径非球面磨削加工技术3.5.3 自由曲面磨削加工技术3.6 工艺软件设计开发3.6.1 数控编程格式3.6.2 微小型非球面工艺软件开发实例3.6.3 大口径非球面工艺软件开发实例3.7 超声振动复合磨削加工技术3.8 加工实例参考文献第4章 先进光学元件抛光技术4.1 超精密抛光加工发展4.2 平面光学元件抛光技术4.2.1 平面抛光原理4.2.2 平面抛光轨迹控制4.2.3 平面抛光材料去除模型4.3 非球面光学元件抛光技术4.3.1 非球面气囊抛光原理4.3.2 轴对称非球面气囊抛光进动运动控制4.3.3 自由曲面气囊抛光进动运动控制4.3.4 气囊抛光材料去除模型参考文献第5章 先进光学元件精密检测技术5.1 基于坐标测量的非球面元件检测技术5.1.1 摆臂式轮廓检测法5.1.2 长行程轮廓检测法5.1.3 五棱镜轮廓检测法5.2 基于波面干涉测量的非球面检测技术5.2.1 零位干涉检测技术5.2.2 非零位干涉检测技术5.3 光学非球面精密检测平台5.3.1 小型光学非球面精密检测平台5.3.2 大型光朝E球面精密检测平台参考文献第6章 先进光学元件精密检测中的数据处理技术6.1 先进光学元件检测轨迹规划6.1.1 基于坐标测量的轨迹规划6.1.2 基于子孔径干涉测量的轨迹规划6.2 大口径光学元件检测中的数据处理技术6.2.1 分段轮廓测量的数据处理技术6.2.2 子孔径拼接的数据处理技术6.3 光学元件在线检测系统数据处理技术研究6.3.1 数据处理系统总体设计6.3.2 数据预处理6.3.3 误差补偿及结果参考文献第7章 先进光学元件制造加工环境监控技术7.1 超精密加工环境监控技术概述7.1.1 加工环境监控与诊断技术进展7.1.2 嵌入式无线监控和诊断技术进展7.2 超精密加工环境无线监控系统原理7.2.1 加工环境无线监控系统构成7.2.2 加工环境无线监控对象7.2.3 加工环境无线监控系统网络7.3 加工环境无线监控系统技术体系7.3.1 系统硬件组成7.3.2 系统软件组成7.4 加工环境无线监控系统监控实例参考文献第8章 光学元件制造的亚表面损伤检测与控制8.1 亚表面损伤概述8.1.1 表面质量与完整性的研究内容8.1.2 亚表面损伤的表现形式8.1.3 亚表面损伤对元件光学性能的影响8.2 亚表面损伤的形成机理8.2.1 亚表面裂纹的形成机理8.2.2 亚表面层残余应力的形成机理8.2.3 亚表面层材料组织变化机理8.3 亚表面损伤的检测与评价8.3.1 损伤性检测技术8.3.2 无损检测技术8.3.3 亚表面损伤的评价8.3.4 亚表面损伤的预测8.4 光学元件制造的亚表面损伤控制8.4.1 脆性材料的延展性去除加工技术8.4.2 脆性材料的半延展性去除加工技术参考文献 上一篇: 制造业高端技术系列 四向穿梭式自动化密集仓储系统的设计与控制 高清晰可复制文字版 下一篇: 先进制造技术与应用前沿：激光切割技术 [叶建斌，戴春祥 著] 2012年版
