超大规模集成电路工艺学
上海交通大学
1987

本书讨论了硅集成电路的工艺原理,包括晶体生长和片子制备,外延介质和多晶硅淀积等。




上一篇: 超大规模集成电路工艺技术
下一篇: 常用传感器应用电路 [谭福年 编著]