本标准规定了铂靶的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存及合同或订货单。本标准适用于半导体器件用的各类铂溅射靶材,其他用途的铂靶材也可参照使用。 上一篇: YS/T 792-2012 单晶炉用碳/碳复合材料坩埚 下一篇: YS/T 786-2012 赤泥粉煤灰耐火隔热砖