本标准规定了化学气相沉积炉的要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输、贮存、质量证明书和合同(或订货单)内容。 本标准适用于化学气相沉积。 上一篇: YS/T 1032-2015 铝电解用阴极炭块内部缺陷检验方法 下一篇: YS/T 1029-2015 离子源弧室用钨顶板