本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同(或订货单)内容。本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。 上一篇: YS/T 985-2014 硅抛光回收片 下一篇: YS/T 936-2013 集成电路器件用镍钒合金靶材