本标准规定了铂蒸发料的要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存、质量证明书及订货单(或合同)内容。本标准适用于半导体行业用的铂蒸发料。 上一篇: YS/T 1124-2016 磁性溅射靶材透磁率测试方法 下一篇: YS/T 72-2014 镉锭