本标准规定了集成电路用石英舟的术语和定义、分类和标记、材料、要求、试验方法、标志、清洗、包装、运输和贮存。
本标准适用于集成电路制造工艺用8英寸及以下的石英舟制品，包含立式石英舟及卧式石英舟。


上一篇: JC/T 2371-2016 摩擦材料用复合纱
下一篇: JC/T 2373-2016 玻璃管材弹性模量和弯曲强度试验方法 缺口环法