本标准规定了QSG1、QSG2、QSG3三种透明石英玻璃坩埚的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。 本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚。 上一篇: JC/T 2066-2011 太阳能电池硅片用石英玻璃扩散管 下一篇: JC/T 182-2011 不透明石英玻璃制品