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JC/T 179-2011 透明石英玻璃坩埚  下载

360book.com  2017-10-15 09:25:29  下载

本标准规定了QSG1、QSG2、QSG3三种透明石英玻璃坩埚的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。
  本标准适用于半导体工业生产单晶硅用的透明石英玻璃坩埚。


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