SJ 21441-2018 SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片规范
本规范规定了SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片的技术要求、质量保证规定、交货准备等。本规范适用于SiC-HPSI型高纯半绝缘碳化硅单晶片(以下简称碳化硅单晶片)




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