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JIS B0091-2010 光学元件和光学系统的干涉测量.表面形式和波阵
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资料介绍
标 准 编 号：JIS B0091-2010简体中文标题：光学元件和光学系统的干涉测量.表面形式和波阵面变形公差的术语和定义繁体中文标题：光学元件和光学系统的干涉测量.表面形式和波阵面变形公差的术语和定义English Name：Interferometric measurement of optical elements and systems -- Terms and definitions of surface form and wavefront deformation tolerances
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