您当前的位置：首页 > GB∕T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法 > 下载地址2
GB∕T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
- 名 称：GB∕T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法 - 下载地址2
- 类 别：检验检测
- 下载地址：[下载地址2]
- 提 取 码：
- 浏览次数：3
发表评论 加入收藏夹 错误报告目录| 新闻评论（共有 0 条评论） |
资料介绍
GB∕T 40109-2021 表面化学分析 二次离子质谱 硅中硼深度剖析方法
本文件描述了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中硼进行深度剖析的方法，以及用触针式表面轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。
本文件适用于硼原子浓度范围1×1016 atoms/cm3～1×1020 atoms/cm3的单晶硅、多晶硅或非晶硅样品，溅射弧坑深度在50 nm及以上。
本文件描述了用扇形磁场或四极杆式二次离子质谱仪对硅中硼进行深度剖析的方法，以及用触针式表面轮廓仪或光学干涉仪深度定标的方法。
本文件适用于硼原子浓度范围1×1016 atoms/cm3～1×1020 atoms/cm3的单晶硅、多晶硅或非晶硅样品，溅射弧坑深度在50 nm及以上。
下一篇: GB∕T 40110-2021 表面化学分析 全反射X射线荧光光谱法(TXRF)测定硅片表面元素污染
上一篇: GB∕T 40129-2021 表面化学分析 二次离子质谱 飞行时间二次离子质谱仪质量标校准
相关推荐
- GB/T 12000-2017 塑料 暴露于湿热、水喷雾和盐雾中影响的测定
- GB/T 8321.10-2018 农药合理使用准则(十)
- GB/T 20100-2006 不锈钢纤维烧结滤毡
- GB 50275-2010 风机、压缩机、泵安装工程施工及验收规范 清晰版
- GB 29440-2012 炭黑单位产品能源消耗限额
- GB/T 42362-2023 高清版 矿区地下水含水层破坏危害程度评价规范
- GB/T 7631.12-2014 润滑剂、工业用油和有关产品（L类）的分类 第12部分：Q组（有机热载体）
- GB/T 16751.1-2023 中医临床诊疗术语 第1部分：疾病
- GB/T 5836.2-2018 建筑排水用硬聚氯乙烯(PVC-U)管件
- GB/T 25758.5-2010 无损检测 工业X射线系统焦点特性 第5部分：小焦点和微焦点X射线管的有效焦点尺寸的测量方法
