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T/AHEMA 23-2022 MEMS VOC 气体传感器技术要求
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- 类 别:综合团体标准
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资料介绍
本文件规定了MEMS VOC 气体传感器的产品分类、技术要求、试验方法、运输及贮存。
本文件适用于监测VOC气体的MEMS传感器芯片本体及封装完毕的传感器器件。
本文件适用于监测VOC气体的MEMS传感器芯片本体及封装完毕的传感器器件。
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