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T/GITIF 006-2022 基于信息物理系统（CPS）的产线设备健康管理
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资料介绍
本文件规定了基于CPS的产线设备健康管理一般流程、健康等级和健康指标、健康基线、在线健康监测、离线健康自检、远程健康跟踪和健康管理展示等。
本文件适用于基于CPS的产线设备健康管理。
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