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T/IAWBS 001-2021 碳化硅单晶
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- 类 别：综合团体标准
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资料介绍
本文件规定了4H 及6H 碳化硅单晶的必要的相关性术语和定义、产品分类、技术要求、检测方法、检测规则以及标志、包装、运输、贮存等。
本文件适用于物理气相传输法制备的4H 及6H 碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED 发光器件的外延衬底。
本文件适用于物理气相传输法制备的4H 及6H 碳化硅单晶。产品主要用于制作半导体照明、电力电子器件、射频微波器件及LED 发光器件的外延衬底。
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