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YS/T 937-2013 镍铂靶材
- 英文名称：Nickel-platinum target
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- 提 取 码：j4uz
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资料介绍
本标准规定了镍铂靶材的要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存、质量证明书及合同（或订货单）内容。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
本标准适用于半导体薄膜用的各类镍铂靶材。
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