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YS/T 1500-2021 多晶硅制备炉衬用银板材
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资料介绍
本文件规定了多晶硅制备炉衬用银板材的分类和标记、技术要求、试验方法、检验规则、标志、包装、运输、贮存及随行文件和订货单内容。本文件适用于多晶硅制备炉衬用银板材(以下简称银板)。
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