JC/T 2243-2014 等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管

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资料介绍

本标准规定了等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管的术语和定义、材料、要求、试验方法、检验规则以及标志、包装、运输和贮存。
本标准适用于板式等离子体增强化学气相沉积工艺用覆膜石英管（以下简称PE石英管）。